Ống Lò Thạch Anh Tinh Khiết Cao Đường Kính Lớn Tùy Chỉnh Cho Bán Dẫn

1. Độ tinh khiết siêu cao – Cốt lõi của quy trình sạch

• Độ tinh khiết SiO₂ ≥ 99,99%, các cấp cao cấp lên đến 99,995%
• Hàm lượng ion kim loại cực thấp (Na/K/Fe v.v. < 1ppm)Không bị hóa thủy tinh, bay hơi hoặc bong tróc hạt ở nhiệt độ cao
• “Tuyến phòng thủ đầu tiên” cho năng suất tấm wafer bán dẫn – một ống lò bị nhiễm bẩn có thể làm hỏng toàn bộ lô wafer
• 2. Khả năng chịu nhiệt cực cao – Ổn định ở đường kính lớn

Nhiệt độ sử dụng dài hạn 1100°C – 1200°C, nhiệt độ ngắn hạn lên đến 1350°C+

• Điểm hóa mềm khoảng 1700°C – các ống đường kính lớn chống bị chảy xệ và biến dạng ở nhiệt độ cao
• Tương thích với các quy trình nhiệt độ cao phổ biến: khuếch tán, oxy hóa, ủ, LPCVD
• 3. Nhiệt độ đồng đều – Trường nhiệt ổn định

Độ dẫn nhiệt và truyền nhiệt bức xạ tuyệt vời của vật liệu thạch anh

• Độ dày thành đồng đều đảm bảo trường nhiệt độ nhất quán bên trong lò
• Hoạt động với hệ thống kiểm soát nhiệt độ để kiểm soát chính xác ở mức ±0,5°C
• Đảm bảo điều kiện quy trình giống hệt nhau cho mọi wafer
• 4. Độ giãn nở nhiệt cực thấp – Khả năng chống sốc nhiệt vượt trội

Hệ số giãn nở nhiệt chỉ 5,5×10⁻⁷/°C (giãn nở gần bằng không)

• Khả năng chống sốc nhiệt vượt trội – không bị nứt dưới các chu kỳ gia nhiệt/làm mát thường xuyên
• Ổn định kích thước sau các chu kỳ nhiệt lặp lại – không bị cong vênh hoặc biến dạng dài hạn
• 5. Khả năng chống ăn mòn mạnh – Chịu được môi trường quy trình

Chống lại axit mạnh (trừ HF) và hầu hết các khí quy trình

• Không phản ứng với clo, oxy hoặc khí pha tạp (phosphine / diborane v.v.) ở nhiệt độ cao
• Chống ăn mòn và tích tụ cặn – dễ dàng làm sạch, tuổi thọ cao
• 6. Trong suốt hoàn toàn – Quan sát & Gia nhiệt bức xạ

Thành trong suốt hoàn toàn với độ truyền UV đến IR cao

• Hỗ trợ gia nhiệt bức xạ hồng ngoại cho hiệu suất nhiệt cao
• Khả năng nhìn thấy điều kiện lò theo thời gian thực để theo dõi quy trình dễ dàng
• 7. Kích thước chính xác – Phù hợp với nhiều loại lò

Kiểm soát chặt chẽ dung sai đường kính, độ dày thành và chiều dài ống

• Độ thẳng, độ tròn và độ đồng đều độ dày thành tuyệt vời
• Tương thích với các mẫu lò ngang và lò dọc phổ biến
• Hỗ trợ sản xuất tùy chỉnh theo bản vẽ thiết bị
• 8. Thông số kỹ thuật đầy đủ – Tùy chỉnh chuyên sâu

Đường kính ngoài: φ40mm – φ500mm (lớn hơn theo yêu cầu)

• Độ dày thành: tùy chọn 2mm – 15mm
• Chiều dài: tùy chỉnh lên đến 3 mét hoặc hơn
• Cấu trúc: ống thẳng, hở hai đầu, bịt một đầu, ống có mặt bích
• Xử lý: đầu đánh bóng bằng lửa, đánh bóng, vát mép, lắp mặt bích
• Phụ kiện: có sẵn khay thạch anh, nút bịt ống và các bộ phận hỗ trợ