Tube de four en quartz de haute pureté personnalisé de grand diamètre pour semi-conducteurs

1. Ultra-Haute Pureté – Cœur des Processus Propres

• Pureté de SiO₂ ≥ 99,99 %, qualités premium jusqu'à 99,995 %
• Teneur extrêmement faible en ions métalliques (Na/K/Fe etc.) (< 1 ppm)Pas de dévitrification, de volatilisation ou de détachement de particules à haute température
• La "première ligne de défense" pour le rendement des plaquettes de semi-conducteurs – un tube de four contaminé peut ruiner un lot entier de plaquettes
• 2. Résistance Extrême à la Chaleur – Stable à Grands Diamètres

Température de service à long terme 1100°C – 1200°C, courte durée jusqu'à 1350°C+

• Point de ramollissement env. 1700°C – les tubes de grand diamètre résistent à l'affaissement et à la déformation à haute température
• Compatible avec les processus à haute température courants : diffusion, oxydation, recuit, LPCVD
• 3. Température Uniforme – Champ Thermique Stable

Excellente conductivité thermique et transfert de chaleur par rayonnement du matériau quartz

• L'épaisseur uniforme des parois assure un champ de température constant à l'intérieur du four
• Fonctionne avec des systèmes de contrôle de température pour un contrôle précis au niveau de ±0,5°C
• Assure des conditions de processus identiques pour chaque plaquette
• 4. Expansion Thermique Ultra-Faible – Résistance Supérieure aux Chocs Thermiques

Coefficient de dilatation thermique de seulement 5,5×10⁻⁷/°C (expansion quasi nulle)

• Résistance exceptionnelle aux chocs thermiques – pas de fissuration sous des cycles de chauffage/refroidissement fréquents
• Stable dimensionnellement après des cycles thermiques répétés – pas de gauchissement ou de déformation à long terme
• 5. Forte Résistance à la Corrosion – Tolère les Atmosphères de Processus

Résiste aux acides forts (sauf HF) et à la plupart des gaz de processus

• Aucune réaction avec le chlore, l'oxygène ou les gaz dopants (phosphine / diborane etc.) à haute température
• Résiste à l'érosion et à l'accumulation de dépôts – facile à nettoyer, longue durée de vie
• 6. Entièrement Transparent – Observation et Chauffage par Rayonnement

Parois entièrement transparentes avec une transmission élevée des UV à l'IR

• Prend en charge le chauffage par rayonnement infrarouge pour une haute efficacité thermique
• Visibilité en temps réel des conditions du four pour une surveillance facile du processus
• 7. Dimensions Précises – Convient à Divers Types de Fours

Contrôle strict des tolérances de diamètre, d'épaisseur de paroi et de longueur des tubes

• Excellente rectitude, rondeur et uniformité de l'épaisseur des parois
• Compatible avec les modèles de fours horizontaux et verticaux courants
• Fabrication sur mesure prise en charge selon les plans d'équipement
• 8. Spécifications Complètes – Personnalisation Approfondie

Diamètre extérieur : φ40mm – φ500mm (plus grand disponible sur demande)

• Épaisseur de paroi : options de 2mm – 15mm
• Longueur : personnalisable jusqu'à 3 mètres ou plus
• Structures : tube droit, ouvert aux deux extrémités, scellé à une extrémité, tube à bride
• Traitement : extrémités polies à la flamme, polissage, chanfreinage, montage de bride
• Accessoires : bateaux en quartz, bouchons de tube et composants de support disponibles