Yüksek Saflıklı Özel Kuvars Fırın tüpü Yarım iletken için Büyük Diametreler
Ürün Ayrıntıları
| Malzeme: | %99,99 Erimiş Kuvars | Metal İyon İçeriği: | Na/K/Fe < 1 ppm |
|---|---|---|---|
| Çalışma Sıcaklığı: | 1100-1200°C, 1350°C'ye kadar | Dış Çap: | φ40mm - φ500mm |
| Duvar Kalınlığı: | 2mm - 15mm | Maksimum Uzunluk: | 3 metre+ |
| Yapı: | Düz, Açık Uçlu, Flanşlı | Başvuru: | Yarı İletken Difüzyon Fırını |
| Vurgulamak |
yüksek saflıkta kuvars tüp,Yarım iletken Kuvars Fırın Tüpü,özel kuvars fırın tüpü |
||
Ürün Tanımı
1Ultra Yüksek Saflık Temiz Süreçlerin Çekirdek
- SiO2 saflığı ≥ 99,99%, premium sınıfları 99,995%'e kadar
- Çok düşük metal iyon içeriği (Na/K/Fe vb. < 1ppm)
- Yüksek sıcaklıklarda devitrifikasyon, uçuş veya parçacık dökülmesi yok
- Yarım iletken wafer üretimi için "ilk savunma hattı" bir kirli fırın tüpü tüm bir wafer seriyi mahvedebilir
2Aşırı ısıya dayanıklılık büyük çaplarda sabit
- Uzun süreli kullanım sıcaklığı 1100°C ∼ 1200°C, kısa süreli 1350°C+
- Yumuşatma noktası yaklaşık 1700°C ‡ Büyük çaplı borular yüksek sıcaklıklarda sarkmaya ve deformasyona dayanır
- Genel yüksek sıcaklıklı işlemlerle uyumludur: difüzyon, oksidasyon, kızartma, LPCVD
3. Tekdüze sıcaklık ∆ Isı alanı sabit
- Kuvars malzemesinin mükemmel termal iletkenliği ve ışıltılı ısı aktarımı
- Birbirine eşit duvar kalınlığı fırının içinde tutarlı bir sıcaklık alanı sağlar
- ±0,5°C seviyesinde hassas kontrol için sıcaklık kontrol sistemleri ile çalışır
- Her levha için aynı süreç koşullarını sağlar
4. Ultra Düşük Termal Genişleme Üstün Termal Şok Direnci
- Sadece 5.5×10−7/°C'lik termal genişleme katsayısı (sıfıra yakın genişleme)
- Üstün termal şok dayanıklılığı, sık ısıtma/soğutma döngüleri altında çatlamıyor
- Tekrarlanan ısı döngüsünden sonra boyutsal olarak istikrarlı ️ uzun süreli bir bükülme veya deformasyon yok
5. Güçlü korozyon direnci. Süreç atmosferlerine dayanır.
- Güçlü asitlere (HF hariç) ve çoğu işlem gazına dayanıklı
- Yüksek sıcaklıklarda klor, oksijen veya dopant gazları (fosfin / diboran vb.) ile reaksiyon olmaz
- Erozyona ve çöküntü birikimine karşı dayanıklıdır. Temizlenmesi kolaydır, uzun kullanım süresi
6Tamamen şeffaf
- Yüksek UV-IR geçirgenliği olan tamamen şeffaf duvarlar
- Yüksek termal verimlilik için kızılötesi ışınlı ısıtma destekler
- Süreç izlemesini kolaylaştırmak için fırın koşullarının gerçek zamanlı görünürlüğü
7- Kesin Boyutlar - Çeşitli Fırın Tiplere Uygun
- Tüp çapı, duvar kalınlığı ve uzunluk toleranslarının sıkı kontrolü
- Mükemmel düzlük, yuvarlaklık ve duvar kalınlığının tekdüzeliği
- Genel olarak kullanılan yatay ve dikey fırın modelleri ile uyumludur
- Ekipman çizimlerine göre desteklenen özel üretim
8Tam özellikler √ Derin özelleştirme
- Dış çapı: φ40mm ?? φ500mm (İstediğinizde daha büyük mevcuttur)
- Duvar kalınlığı: 2 mm 15 mm seçenekler
- Uzunluk: 3 metre veya daha fazla özelleştirilebilir
- Yapılar: düz boru, her iki ucunda da açık, bir ucunda mühürlü, flanslı boru
- İşleme: alevle cilalanmış uçlar, cilalama, şifreleme, flens montajı
- Aksesuarlar: Kuvars tekneleri, boru fişleri ve destek bileşenleri mevcut
Product Highlights
1Ultra Yüksek Saflık Temiz Süreçlerin Çekirdek SiO2 saflığı ≥ 99,99%, premium sınıfları 99,995%'e kadar Çok düşük metal iyon içeriği (Na/K/Fe vb. < 1ppm) Yüksek sıcaklıklarda devitrifikasyon, uçuş veya parçacık dökülmesi yok Yarım iletken wafer üretimi için "ilk savunma hattı" bir kirli fırın tüpü t...
Çift Tüplü Kuvars Cam Tüp Füzyon Silika Isıya Dayanıklı Cilalı Yüzey Duvar Kalınlığı
Product descriptions from the supplier High Temperature Polishing Customize Opaque Quartz Tube Quartz Tubing Purity Milky White Silica Quartz Tube Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Superior ...
Silika Erimiş Kuvars Cam Tüp Şeffaf Yüksek Sıcaklık Açık Kuvars Tüp
Product descriptions from the supplier High Temperature Resistance: Operates up to 1100°C for durable performance. Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Optimal Light Transmission: >92% ...
Yuvarlak Kuvars Cam Tüp Korozyona Dayanıklı Yüksek Sıcaklık Şeffaf Özel Boyut
Product descriptions from the supplier Custom Size High-Temperature Resistant Quartz Glass Tube Corrosion-Resistant Transparent Round Quartz Tube Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Superior ...
Yüksek Borosilikat Kuvars Cam Tüp Şeffaf Isıtmaya Dirençli Ozon Serbest Kesme Poli
Product descriptions from the supplier Customized Clear Quartz Glass Tube High Borosilicate Transparent Heating Resistant Ozone Free Cutting Polished Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. ...
Herhangi bir sorunuz varsa lütfen aşağıdaki çevrimiçi talep iletişim formumuzu kullanın, ekibimiz en kısa sürede size geri dönüş yapacaktır.
