Tubo di forno al quarzo ad alta purezza a misura di grande diametro per semiconduttori

1. Ultra-alta purezza Core dei processi puliti

• Purezza di SiO2 ≥ 99,99%, gradi superiori fino a 99,995%
• Contenuto estremamente basso di ioni metallici (Na/K/Fe ecc. < 1 ppm)
• Nessuna devitrificazione, volatilizzazione o dispersione di particelle ad alte temperature
• La "prima linea di difesa" per il rendimento dei wafer a semiconduttore un tubo contaminato può rovinare un intero lotto di wafer

2- Resistenza al calore estremo - Stabile a grandi diametri

• Temperatura di funzionamento a lungo termine 1100°C ∼ 1200°C, a breve termine fino a 1350°C+
• Punto di ammorbidimento circa 1700°C ‡ tubi di grande diametro resistenti all'affacciamento e alla deformazione ad alte temperature
• Compatibile con i processi tradizionali ad alta temperatura: diffusione, ossidazione, ricottura, LPCVD

3. Temperatura uniforme Campo termico stabile

• Eccellente conduttività termica e trasferimento radiante di calore del materiale al quarzo
• Lo spessore uniforme della parete garantisce un campo di temperatura costante all'interno del forno
• Funziona con sistemi di controllo della temperatura per un controllo preciso a ± 0,5°C
• Garantisce condizioni di processo identiche per ogni wafer

4. Espansione termica ultra-bassa ️ Superiore resistenza agli urti termici

• Coefficiente di espansione termica di soli 5,5×10−7/°C (espansione quasi zero)
• Eccezionale resistenza agli urti termici ️ non crepa in frequenti cicli di riscaldamento/raffreddamento
• Stabilità dimensionale dopo ripetuti cicli termici

5- Forte resistenza alla corrosione - Tolera le atmosfere di processo

• Resistente agli acidi forti (esclusi gli HF) e alla maggior parte dei gas di processo
• Nessuna reazione con cloro, ossigeno o gas dopanti (fosfina / diborano ecc.) ad alte temperature
• Resistente all'erosione e all'accumulo di depositi

6- Completamente trasparente - Osservazione e riscaldamento radiante

• Pareti completamente trasparenti con elevata trasmissione UV-IR
• Supporta il riscaldamento a raggi infrarossi per un'elevata efficienza termica
• Visibilità in tempo reale delle condizioni del forno per un facile monitoraggio del processo

7. Dimensioni precise ️ Adatta a vari tipi di forno

• Controllo rigoroso delle tolleranze di diametro, spessore della parete e lunghezza del tubo
• Eccellente rettitudine, rotondità e uniformità dello spessore della parete
• Compatibile con i principali modelli orizzontali e verticali di forno
• Fabbricazione su misura supportata per disegni di attrezzature

8. Specificativi completi Deep Customization

• Diametro esterno: φ40 mm φ500 mm (più grande disponibile su richiesta)
• Spessore della parete: 2 mm ∼ 15 mm opzionali
• Lunghezza: personalizzabile fino a 3 metri o più
• Strutture: tubo retto, a due estremità aperte, un'estremità sigillata, tubo a flange
• Trasformazione: estremità lucidate a fiamma, lucidatura, carenatura, montaggio di flange
• Accessori: barche in quarzo, tappi per tubi e componenti di supporto disponibili