Высокая чистота настраиваемая кварцевая печь трубы большого диаметра для полупроводников

1Ультравысокая чистота

• Чистота SiO2 ≥ 99,99%, высококачественные сорта до 99,995%
• Очень низкое содержание ионов металлов (Na/K/Fe и т.д. < 1 ppm)
• Никакого девитрификации, испарения или выброса частиц при высоких температурах
• "Первая линия обороны" полупроводниковых пластин ∙ загрязненная трубка печи может испортить целую партию пластин

2. Сильная теплостойкость

• Долгосрочная эксплуатационная температура 1100°C ∼ 1200°C, краткосрочная до 1350°C+
• Точка размягчения около 1700°C ‡ трубы большого диаметра устойчивы к ослаблению и деформации при высоких температурах
• Совместима с основными высокотемпературными процессами: диффузия, окисление, отжигание, LPCVD

3. Однородная температура Стабильное тепловое поле

• Отличная теплопроводность и передача тепла из кварца
• Единая толщина стенки обеспечивает постоянное температурное поле внутри печи
• Работает с системами контроля температуры для точного контроля на уровне ±0,5°C
• Обеспечивает одинаковые условия процесса для каждой пластины

4Ультранизкое тепловое расширение ∙ Высокая термоупорная устойчивость

• Коэффициент теплового расширения всего 5,5×10−7/°C (близко к нулю расширение)
• Выдающаяся термоупорная стойкость ️ отсутствие трещин при частом цикле нагрева/охлаждения
• Устойчивость по размеру после повторного теплового цикла, без длительного деформации или деформации

5. Сильная коррозионная стойкость

• Устойчив к сильным кислотам (кроме HF) и большинству процессуальных газов
• Никакой реакции с хлором, кислородом или допирующими газами (фосфин / диборан и т.д.) при высоких температурах
• Устойчив к эрозии и накоплению отложений, легко очищается, длительный срок службы

6Полностью прозрачный

• Полностью прозрачные стены с высокой ультрафиолетовой проницаемостью
• Поддерживает инфракрасное радиационное отопление для высокой тепловой эффективности
• Видимость условий печи в режиме реального времени для простого мониторинга процесса

7. Точные размеры. Подходит для различных типов печей.

• Строгий контроль диаметра труб, толщины стенки и допустимых толерантности длины
• Отличная прямота, округлость и однородность толщины стенки
• Совместима с основными горизонтальными и вертикальными моделями печей
• Производство на заказ, поддерживаемое по чертежам оборудования

8. Полная спецификация

• Внешний диаметр: φ40mm φ500mm (больший доступен по запросу)
• Толщина стены: 2 мм 15 мм варианты
• Длина: настраиваемая до 3 метров и более
• Структуры: прямая трубка, открытая с обоих концов, запечатанная с одного конца, фланцевая трубка
• Обработка: полированные в огне концы, полировка, разветвление, установка фланцев
• Аксессуары: кварцевые лодки, трубные розетки и поддерживающие компоненты