Tubo de horno de cuarzo de alta pureza de gran diámetro para semiconductores

1. Ultra-Alta Pureza – Núcleo de Procesos Limpios

• Pureza de SiO₂ ≥ 99.99%, grados premium hasta 99.995%
• Contenido extremadamente bajo de iones metálicos (Na/K/Fe etc. < 1ppm)Sin desvitrificación, volatilización ni desprendimiento de partículas a altas temperaturas
• La "primera línea de defensa" para el rendimiento de obleas de semiconductores – un tubo de horno contaminado puede arruinar un lote completo de obleas
• 2. Resistencia Extrema al Calor – Estable en Grandes Diámetros

Temperatura de servicio a largo plazo 1100°C – 1200°C, a corto plazo hasta 1350°C+

• Punto de reblandecimiento aprox. 1700°C – los tubos de gran diámetro resisten el pandeo y la deformación a altas temperaturas
• Compatible con procesos de alta temperatura convencionales: difusión, oxidación, recocido, LPCVD
• 3. Temperatura Uniforme – Campo Térmico Estable

Excelente conductividad térmica y transferencia de calor radiante del material de cuarzo

• El grosor uniforme de la pared asegura un campo de temperatura constante dentro del horno
• Funciona con sistemas de control de temperatura para un control preciso a nivel de ±0.5°C
• Asegura condiciones de proceso idénticas para cada oblea
• 4. Expansión Térmica Ultra-Baja – Resistencia Superior al Choque Térmico

Coeficiente de expansión térmica de solo 5.5×10⁻⁷/°C (expansión casi nula)

• Excepcional resistencia al choque térmico – sin grietas bajo ciclos frecuentes de calentamiento/enfriamiento
• Dimensionalmente estable después de ciclos térmicos repetidos – sin deformación o pandeo a largo plazo
• 5. Fuerte Resistencia a la Corrosión – Tolera Atmósferas de Proceso

Resiste ácidos fuertes (excepto HF) y la mayoría de los gases de proceso

• Sin reacción con cloro, oxígeno o gases dopantes (fosfina / diborano etc.) a altas temperaturas
• Resiste la erosión y la acumulación de depósitos – fácil de limpiar, larga vida útil
• 6. Completamente Transparente – Observación y Calentamiento Radiante

Paredes completamente transparentes con alta transmitancia UV a IR

• Soporta calentamiento radiante infrarrojo para alta eficiencia térmica
• Visibilidad en tiempo real de las condiciones del horno para un fácil monitoreo del proceso
• 7. Dimensiones Precisas – Se Adapta a Varios Tipos de Hornos

Control estricto de las tolerancias de diámetro, grosor de pared y longitud del tubo

• Excelente rectitud, redondez y uniformidad del grosor de la pared
• Compatible con modelos de hornos horizontales y verticales convencionales
• Fabricación a medida soportada según planos del equipo
• 8. Especificaciones Completas – Personalización Profunda

Diámetro exterior: φ40mm – φ500mm (más grandes disponibles bajo pedido)

• Grosor de pared: opciones de 2mm – 15mm
• Longitud: personalizable hasta 3 metros o más
• Estructuras: tubo recto, abierto en ambos extremos, sellado en un extremo, tubo con brida
• Procesamiento: extremos pulidos a la llama, pulido, chaflanado, montaje de brida
• Accesorios: disponibles barcos de cuarzo, tapones de tubo y componentes de soporte