제품 상세정보
| 재료: | 99.99% 융합 석영 | 금속 이온 함량: | Na/K/Fe < 1ppm |
|---|---|---|---|
| 작동 온도: | 1100-1200°C, 최대 1350°C | 외경: | Ø40mm - Ø500mm |
| 벽 두께: | 2mm - 15mm | 최대 길이: | 3미터 이상 |
| 구조: | 직선형, 개방형, 플랜지형 | 애플리케이션: | 반도체 확산로 |
| 강조하다 |
고순도 석영관,반도체 쿼츠 오븐 튜브,カスタム石英炉管 |
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제품 설명
1. 초고순도 – 클린 공정의 핵심
- SiO₂ 순도 99.99% 이상, 프리미엄 등급 99.995%까지
- 극도로 낮은 금속 이온 함량 (Na/K/Fe 등)< 1ppm)
- 고온에서 결정화, 휘발 또는 입자 방출 없음
- 반도체 웨이퍼 수율의 "최전선" – 오염된 퍼니스 튜브는 전체 웨이퍼 배치를 망칠 수 있습니다.
2. 극한의 내열성 – 대구경에서도 안정적
- 장기 사용 온도 1100°C – 1200°C, 단기 최대 1350°C+
- 연화점 약 1700°C – 대구경 튜브는 고온에서 처짐 및 변형에 강합니다.
- 주요 고온 공정과 호환 가능: 확산, 산화, 어닐링, LPCVD
3. 균일한 온도 – 안정적인 열장
- 석영 재료의 뛰어난 열전도율 및 복사열 전달
- 균일한 벽 두께는 퍼니스 내부의 일관된 온도장을 보장합니다.
- 온도 제어 시스템과 함께 ±0.5°C 수준의 정밀 제어 가능
- 모든 웨이퍼에 대해 동일한 공정 조건 보장
4. 초저 열팽창 – 우수한 열충격 저항성
- 열팽창 계수 5.5×10⁻⁷/°C (거의 제로 팽창)
- 뛰어난 열충격 저항성 – 빈번한 가열/냉각 주기에도 균열 없음
- 반복적인 열 사이클링 후 치수 안정성 – 장기적인 뒤틀림 또는 변형 없음
5. 강력한 내화학성 – 공정 분위기 내성
- 강산(HF 제외) 및 대부분의 공정 가스에 내성
- 고온에서 염소, 산소 또는 도펀트 가스(포스핀/디보란 등)와 반응 없음
- 침식 및 증착 방지 – 세척 용이, 긴 수명
6. 완전 투명 – 관찰 및 복사 가열
- UV-IR 투과율이 높은 완전 투명 벽
- 높은 열효율을 위한 적외선 복사 가열 지원
- 공정 모니터링 용이성을 위한 퍼니스 상태 실시간 가시성
7. 정밀한 치수 – 다양한 퍼니스 유형에 적합
- 튜브 직경, 벽 두께 및 길이 공차 엄격 제어
- 뛰어난 직선도, 원형도 및 벽 두께 균일성
- 주요 수평 및 수직 퍼니스 모델과 호환 가능
- 장비 도면에 따른 맞춤 제작 지원
8. 완전한 사양 – 심층 맞춤화
- 외경: φ40mm – φ500mm (요청 시 더 큰 사이즈 가능)
- 벽 두께: 2mm – 15mm 옵션
- 길이: 최대 3미터 또는 그 이상 맞춤 가능
- 구조: 직선 튜브, 양쪽 개방, 한쪽 밀폐, 플랜지 튜브
- 가공: 불꽃 연마 처리된 끝단, 연마, 모따기, 플랜지 장착
- 액세서리: 석영 보트, 튜브 플러그 및 지지 부품 제공
Product Highlights
1. 초고순도 – 클린 공정의 핵심 SiO₂ 순도 99.99% 이상, 프리미엄 등급 99.995%까지 극도로 낮은 금속 이온 함량 (Na/K/Fe 등)< 1ppm) 고온에서 결정화, 휘발 또는 입자 방출 없음 반도체 웨이퍼 수율의 "최전선" – 오염된 퍼니스 튜브는 전체 웨이퍼 배치를 망칠 수 있습니다. 2. 극한의 내열성 – 대구경에서도 안정적 장기 사용 온도 1100°C – 1200°C, 단기 최대 1350°C+ 연화점 약 1700°C – 대구경 튜브는 고온에서 처짐 및 변형에 강합니다. 주요 고온 공정과 호환 가능: 확산, 산...
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