Tubo de Forno de Quartzo Personalizado de Alta Pureza de Grande Diâmetro para Semicondutores

1. Ultra-Alta Pureza – Núcleo de Processos Limpos

• Pureza de SiO₂ ≥ 99,99%, graus premium até 99,995%
• Conteúdo extremamente baixo de íons metálicos (Na/K/Fe etc. < 1ppm)Sem devitrificação, volatilização ou desprendimento de partículas em altas temperaturas
• A "primeira linha de defesa" para o rendimento de wafers de semicondutores – um tubo de forno contaminado pode arruinar um lote inteiro de wafers
• 2. Resistência Extrema ao Calor – Estável em Grandes Diâmetros

Temperatura de serviço a longo prazo 1100°C – 1200°C, curto prazo até 1350°C+

• Ponto de amolecimento aprox. 1700°C – tubos de grande diâmetro resistem à flacidez e deformação em altas temperaturas
• Compatível com processos de alta temperatura convencionais: difusão, oxidação, recozimento, LPCVD
• 3. Temperatura Uniforme – Campo Térmico Estável

Excelente condutividade térmica e transferência de calor radiante do material de quartzo

• Espessura de parede uniforme garante um campo de temperatura consistente dentro do forno
• Funciona com sistemas de controle de temperatura para controle preciso no nível de ±0,5°C
• Garante condições de processo idênticas para cada wafer
• 4. Expansão Térmica Ultra-Baixa – Resistência Superior ao Choque Térmico

Coeficiente de expansão térmica de apenas 5,5×10⁻⁷/°C (expansão próxima de zero)

• Excelente resistência ao choque térmico – sem rachaduras sob ciclos frequentes de aquecimento/resfriamento
• Dimensionalmente estável após ciclos térmicos repetidos – sem empenamento ou deformação a longo prazo
• 5. Forte Resistência à Corrosão – Tolera Atmosferas de Processo

Resiste a ácidos fortes (exceto HF) e à maioria dos gases de processo

• Sem reação com cloro, oxigênio ou gases dopantes (fosfina / diborano etc.) em altas temperaturas
• Resiste à erosão e acúmulo de depósitos – fácil de limpar, longa vida útil
• 6. Totalmente Transparente – Observação e Aquecimento Radiante

Paredes totalmente transparentes com alta transmitância UV-IR

• Suporta aquecimento radiante infravermelho para alta eficiência térmica
• Visibilidade em tempo real das condições do forno para fácil monitoramento do processo
• 7. Dimensões Precisas – Adapta-se a Vários Tipos de Forno

Controle rigoroso das tolerâncias de diâmetro do tubo, espessura da parede e comprimento

• Excelente retilinidade, circularidade e uniformidade da espessura da parede
• Compatível com modelos de forno horizontal e vertical convencionais
• Fabricação personalizada suportada de acordo com desenhos de equipamentos
• 8. Especificações Completas – Personalização Profunda

Diâmetro externo: φ40mm – φ500mm (maiores disponíveis mediante solicitação)

• Espessura da parede: opções de 2mm – 15mm
• Comprimento: personalizável até 3 metros ou mais
• Estruturas: tubo reto, aberto em ambas as extremidades, selado em uma extremidade, tubo flangeado
• Processamento: extremidades polidas à chama, polimento, chanframento, montagem de flange
• Acessórios: barcos de quartzo, tampões de tubo e componentes de suporte disponíveis