Hochreines kundenspezifisches Quarzofenrohr mit großem Durchmesser für Halbleiter

1. Ultra-hohe Reinheit Kern der sauberen Prozesse

• SiO2-Reinheit ≥ 99,99%, hochwertige Stoffe bis zu 99,995%
• Sehr geringer Gehalt an Metallionen (Na/K/Fe usw. < 1 ppm)
• Keine Entvitrierung, Verdunstung oder Partikelverlust bei hohen Temperaturen
• Die "erste Verteidigungslinie" für Halbleiter-Wafer-Erzeugnisse: Ein verunreinigtes Ofenrohr kann eine ganze Wafer-Charge ruinieren

2. Extreme Hitzebeständigkeit

• Langfristige Betriebstemperatur 1100°C ∼ 1200°C, kurzfristige bis zu 1350°C+
• Erweichtungspunkt ca. 1700°C ‡ Röhren mit großem Durchmesser widerstehen bei hohen Temperaturen Absaugen und Verformungen
• Kompatibel mit üblichen Hochtemperaturverfahren: Diffusion, Oxidation, Glühen, LPCVD

3. Einheitliche Temperatur

• Ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit und Wärmeübertragung durch Strahlung von Quarzmaterial
• Eine einheitliche Wandstärke sorgt für ein gleichbleibendes Temperaturfeld im Inneren des Ofen
• Arbeitet mit Temperaturregelungssystemen für eine präzise Steuerung bei ±0,5 °C
• Sicherstellung identischer Prozessbedingungen für jede Wafer

4. Ultra-niedrige thermische Ausdehnung ️ überlegene thermische Stoßbeständigkeit

• Thermischer Expansionskoeffizient von nur 5,5×10−7/°C (Expansionsrate nahezu null)
• Ausgezeichnete thermische Stoßbeständigkeit
• Nach wiederholtem thermischen Zyklus maßstablich stabil

5. Starke Korrosionsbeständigkeit Toleriert Prozessatmosphären

• Widerstandsfähig gegen starke Säuren (außer HF) und die meisten Prozessgase
• Keine Reaktion mit Chlor, Sauerstoff oder Dopinggasen (Phosphin/Diboran usw.) bei hohen Temperaturen
• Widerstandsfähig gegen Erosion und Ablagerungen leicht zu reinigen, lange Lebensdauer

6. Volltransparent Beobachtung & Strahlungsheizung

• Volltransparente Wände mit hoher UV-IR-Übertragbarkeit
• Unterstützt Infrarot-Bestrahlung Heizung für hohe thermische Effizienz
• Echtzeitsichtbarkeit der Ofenbedingungen für eine einfache Prozessüberwachung

7. Präzise Abmessungen Fitt für verschiedene Ofenarten

• Strenge Kontrolle des Rohrdurchmessers, der Wandstärke und der Längentoleranzen
• Ausgezeichnete Geradheit, Rundheit und Einheitlichkeit der Wandstärke
• Kompatibel mit herkömmlichen horizontalen und vertikalen Ofenmodellen
• Produktion nach Maßgabe der Zeichnungen der Ausrüstung

8. Vollständige Spezifikationen ️ Tiefe Anpassung

• Außendurchmesser: φ40 mm φ500 mm (größerer auf Anfrage erhältlich)
• Wandstärke: 2 mm 15 mm Optionen
• Längen: bis zu 3 Meter oder mehr
• Strukturen: gerade Röhre, beide Enden offen, ein Ende versiegelt, Flanschröhre
• Verarbeitung: Flammenpolierte Enden, Polieren, Schrägstellen, Flanzenbefestigen
• Zubehör: Quarzboote, Rohrstecker und Stützkomponenten erhältlich