ท่อเตาควอตซ์ความบริสุทธิ์สูงแบบกำหนดเอง เส้นผ่านศูนย์กลางใหญ่สำหรับเซมิคอนดักเตอร์

1ความบริสุทธิ์สูงสุด หลักของกระบวนการที่สะอาด

• SiO2 ความบริสุทธิ์ ≥ 99.99%, คุณภาพสูงสุดถึง 99.995%
• เนื้อหาไอออนโลหะที่ต่ํามาก (Na/K/Fe เป็นต้น < 1ppm)
• ไม่มีการ devitrification, การระเหยหรือการหลั่งของอนุภาคที่อุณหภูมิสูง
• "แนว การ ป้องกัน อัน แรก" สําหรับ ผลิต ไวเฟอร์ ภาค สาย ผ่าน ไวเฟอร์ หน่วย หน่วย หน่วย หน่วย หน่วย

2. ความทนความร้อนอย่างมาก ✅ ทนทานในกว้างใหญ่

• อุณหภูมิการใช้งานระยะยาว 1100°C ∼ 1200°C ระยะสั้นสูงสุด 1350°C+
• จุดอ่อนคลายประมาณ 1700 °C √ ท่อขนาดใหญ่ทนต่อการลดและการปรับปรุงที่อุณหภูมิสูง
• รองรับกับกระบวนการอุณหภูมิสูงทั่วไป: การกระจายกระจาย, การออกซิเดชั่น, การผสมผสาน, LPCVD

3. อุณหภูมิแบบเดียวกัน

• ความสามารถในการนําความร้อนที่ดีและการถ่ายทอดความร้อนที่รังสีของวัสดุควอตซ์
• ความหนาของผนังแบบเดียวกันทําให้ภูมิอุณหภูมิในเตาอบคงที่
• ทํางานกับระบบควบคุมอุณหภูมิเพื่อควบคุมความละเอียดในระดับ ± 0,5 °C
• รับประกันสภาพกระบวนการที่เหมือนกันสําหรับทุกแผ่น

4. การขยายความร้อนที่ต่ําสุด resistance ความทนต่อการกระแทกทางความร้อนที่สูงกว่า

• คณิตการขยายความร้อนเพียง 5.5 × 10−7/ °C (ขยายความเร็วใกล้ศูนย์)
• ความทนทานต่อการกระแทกทางความร้อนที่โดดเด่น ✓ ไม่แตกในช่วงรอบการอบอุ่น/เย็นบ่อย
• มิติคงที่หลังจากการหมุนเวียนทางความร้อนซ้ําๆ ไม่มีการบิดหรือปรับรูปในระยะยาว

5ความทนทานต่อการกัดกร่อนที่แข็งแกร่ง ทนต่อบรรยากาศกระบวนการ

• ทนต่อกรดแข็ง (ยกเว้น HF) และก๊าซส่วนใหญ่ของกระบวนการ
• ไม่มีปฏิกิริยากับเคลอรีน, ไอน้ําออกซิเจน หรือก๊าซเสริม (ฟอสฟีน / ดิโบเรน เป็นต้น) ในอุณหภูมิสูง
• ทนต่อการบดและการสะสมฝาก ง่ายในการทําความสะอาด, อายุการใช้งานยาว

6. ใสอย่างสมบูรณ์แบบ ภาพสังเกตและความร้อน

• ผนังโปร่งใสอย่างสมบูรณ์แบบที่มีการกระจายแสง UV-IR ที่สูง
• รองรับความร้อนแสงอินฟราเรดเพื่อประสิทธิภาพทางความร้อนสูง
• ความเห็นในเวลาจริงของสภาพเตาอบเพื่อการติดตามกระบวนการง่าย

7ขนาดแม่นยํา ใส่ได้กับหลากหลายประเภทเตาอบ

• การควบคุมความเข้มงวดของกว้างท่อ ความหนาผนังและความยาว
• ความเรียบตรงที่ดี, ความกลมและความเหมือนกันของความหนาของผนัง
• ปรับปรุงความสะดวก
• การผลิตตามความต้องการที่สนับสนุนตามภาพวาดของอุปกรณ์

8รายละเอียดครบถ้วน ผ่อนคลายความสามารถ

• กว้างภายนอก: φ40mm ?? φ500mm (มีขนาดใหญ่ขึ้นตามคําขอ)
• ความหนาของผนัง: 2 มม.
• ความยาว: สามารถปรับแต่งได้สูงถึง 3 เมตรขึ้นไป
• โครงสร้าง: ท่อตรง เปิดทั้งสองปลาย ปิดปลายหนึ่ง ท่อปัก
• การแปรรูป: ปลายที่เคลือบด้วยไฟ, การเคลือบ, การเคลือบ, การติดตั้งฟลานซ์
• อุปกรณ์เสริม: เรือควอตซ์, โป๊กท่อและส่วนประกอบการสนับสนุน