製品詳細
| 材料: | 99.99% 溶融石英 | 金属イオン含有量: | Na/K/Fe < 1ppm |
|---|---|---|---|
| 使用温度: | 1100～1200℃、最大1350℃ | 外径: | φ40mm～φ500mm |
| 肉厚: | 2mm～15mm | 最大長さ: | 3メートル以上 |
| 構造: | ストレート、オープンエンド、フランジ付き | 応用: | 半導体拡散炉 |
| ハイライト |
高い純度の水晶管,半導体クォーツ炉チューブ,オーダーメイドのクォーツ炉管 |
||
製品の説明
1超高純度 清潔なプロセスのコア
- SiO2純度 ≥99.99%,高級品種最大99.995%
- 非常に低い金属イオン含有量 (Na/K/Fe等 < 1ppm)
- 高温でデビトリ化,揮発,粒子の流出がない
- 半導体 の ワッフル の 生産 量 に 関する"第一 防線"― 汚染 さ れ た 炉管 は,ワッフル の 批量 全体 を 破壊 する
2超熱耐性 大直径で安定性
- 長期使用温度 1100°C ∼ 1200°C 短期使用温度 1350°C+
- 柔らか点 約1700°C 大直径の管は高温で収縮や変形に耐える
- 主流の高温プロセス:拡散,酸化,焼却,LPCVDに対応する
3均質な温度 安定した熱場
- クォーツ材料の優れた熱伝導性と放射性熱伝送
- 壁 の 均一 な 厚さ は,炉内 の 恒常 な 温度 場 を 確保 する
- ±0.5°Cの精度制御のための温度制御システムで動作する
- すべてのウエファーに同一のプロセス条件を保証します
4超低熱膨張 超高熱衝撃耐性
- 熱膨張係数はわずか5.5×10−7/°C (ほぼゼロ膨張)
- 熱ショック耐性 熱冷却サイクルが頻繁な場合は割れることはありません
- 繰り返された熱循環の後,次元的に安定している 長期間の歪みや変形がない
5耐腐食性 処理環境に耐える
- 強い酸 (HFを除く) とほとんどのプロセスガスに耐える
- 高温で塩素,酸素,または補強ガス (フォスフィン/ディボランなど) と反応しない.
- 浸食や堆積に耐える 清掃が簡単,使用寿命が長い
6完全に透明 観測と放射熱
- 完全に透明な壁で,UVからIRへの伝達性が高い
- 高熱効率のための赤外線放射熱をサポートします
- プロセスモニタリングを容易にするための炉の状態のリアルタイム可視性
7精密な寸法 異なるオーブンのタイプに適しています
- 管の直径,壁厚み,長さの許容量を厳格に管理する
- 優れた直さ,丸み,壁厚さの均一性
- 主流の水平型や垂直型炉モデルと互換性
- 機器図による自社製のサポート
8完全な仕様 深いカスタマイズ
- 外径: φ40mm φ500mm (要求により大きいもの)
- 壁厚さ: 2mm 15mm オプション
- 長さ:最大3メートル以上まで調整可能
- 構造:直線管,両端が開いている,片端が密閉している,フランジ管
- 加工:火で磨いた末端,磨き,カムフィーリング,フレンズフィッティング
- アクセサリー:クォーツボート,チューブプラグ,サポート部品
Product Highlights
1超高純度 清潔なプロセスのコア SiO2純度 ≥99.99%,高級品種最大99.995% 非常に低い金属イオン含有量 (Na/K/Fe等 < 1ppm) 高温でデビトリ化,揮発,粒子の流出がない 半導体 の ワッフル の 生産 量 に 関する"第一 防線"― 汚染 さ れ た 炉管 は,ワッフル の 批量 全体 を 破壊 する 2超熱耐性 大直径で安定性 長期使用温度 1100°C ∼ 1200°C 短期使用温度 1350°C+ 柔らか点 約1700°C 大直径の管は高温で収縮や変形に耐える 主流の高温プロセス:拡散,酸化,焼却,LPCVDに対応する 3均質な温度 安定した熱場 クォーツ材料...
ツインチューブ クォーツガラスチューブ 溶融シリカ 耐熱 磨き表面 壁厚さ
Product descriptions from the supplier High Temperature Polishing Customize Opaque Quartz Tube Quartz Tubing Purity Milky White Silica Quartz Tube Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Superior ...
シリカ溶融クォーツガラス管 透明高温クォーツ管
Product descriptions from the supplier High Temperature Resistance: Operates up to 1100°C for durable performance. Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Optimal Light Transmission: >92% ...
耐腐食性・耐熱性・透明性の丸型石英ガラス管 カスタムサイズ
Product descriptions from the supplier Custom Size High-Temperature Resistant Quartz Glass Tube Corrosion-Resistant Transparent Round Quartz Tube Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Superior ...
高ボロシリケートクォーツガラスチューブ 透明性 耐熱性 オゾンフリー 切断 磨き
Product descriptions from the supplier Customized Clear Quartz Glass Tube High Borosilicate Transparent Heating Resistant Ozone Free Cutting Polished Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. ...
オンラインで問い合わせの連絡先フォームをご利用ください. 質問があれば,私たちのチームはできるだけ早く連絡します.
