सेमीकंडक्टर के लिए उच्च शुद्धता कस्टम क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब बड़े व्यास

1अति-उच्च शुद्धता स्वच्छ प्रक्रियाओं का मूल

• SiO2 शुद्धता ≥ 99.99%, उच्च श्रेणी के ग्रेड 99.995% तक
• बहुत कम धातु आयनों की मात्रा (Na/K/Fe आदि < 1ppm)
• उच्च तापमान पर कोई विट्रिफिकेशन, वाष्पीकरण या कणों का बहाव नहीं
• अर्धचालक वेफर की उपज के लिए "प्रथम रक्षा रेखा" एक दूषित भट्ठी ट्यूब पूरे वेफर बैच को बर्बाद कर सकती है

2अत्यधिक गर्मी प्रतिरोध ️ बड़े व्यास पर स्थिर

• दीर्घकालिक सेवा तापमान 1100°C ∼ 1200°C, अल्पकालिक 1350°C+ तक
• नरम होने का बिंदु लगभग 1700°C बड़े व्यास के ट्यूबों को उच्च तापमान पर ढीला होने और विरूपण का सामना करना पड़ता है
• मुख्यधारा के उच्च तापमान प्रक्रियाओं के साथ संगतः प्रसार, ऑक्सीकरण, annealing, LPCVD

3. समान तापमान स्थिर थर्मल क्षेत्र

• क्वार्ट्ज सामग्री की उत्कृष्ट ताप चालकता और विकिरण ताप हस्तांतरण
• एक समान दीवार मोटाई भट्ठी के अंदर एक सुसंगत तापमान क्षेत्र सुनिश्चित करता है
• ±0.5°C स्तर पर सटीक नियंत्रण के लिए तापमान नियंत्रण प्रणालियों के साथ काम करता है
• प्रत्येक वेफर के लिए समान प्रक्रिया स्थितियों को सुनिश्चित करता है

4अल्ट्रा-लो थर्मल एक्सपेंशन

• थर्मल विस्तार गुणांक केवल 5.5×10−7/°C (लगभग शून्य विस्तार)
• उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध ️ लगातार हीटिंग/कूलिंग चक्रों में कोई क्रैकिंग नहीं
• बार-बार थर्मल साइकिल के बाद आयामी स्थिर ️ लंबे समय तक विकृति या विरूपण नहीं

5. मजबूत संक्षारण प्रतिरोधक ️ प्रक्रिया वातावरण को सहन करता है

• मजबूत एसिड (एचएफ को छोड़कर) और अधिकांश प्रक्रिया गैसों के प्रतिरोधी
• उच्च तापमान पर क्लोरीन, ऑक्सीजन या डोपेंट गैसों (फोस्फिन / डिबोरेन आदि) के साथ कोई प्रतिक्रिया नहीं
• क्षरण और जमाव के निर्माण के प्रतिरोधी ️ साफ करने में आसान, लंबी सेवा जीवन

6पूरी तरह से पारदर्शी अवलोकन और विकिरण ताप

• उच्च यूवी-टू-आईआर पारगम्यता के साथ पूरी तरह से पारदर्शी दीवारें
• उच्च थर्मल दक्षता के लिए अवरक्त विकिरण हीटिंग का समर्थन करता है
• आसान प्रक्रिया निगरानी के लिए भट्ठी की स्थितियों की वास्तविक समय दृश्यता

7. सटीक आयाम विभिन्न भट्ठी प्रकारों के लिए उपयुक्त

• ट्यूब व्यास, दीवार मोटाई और लंबाई सहिष्णुता का सख्त नियंत्रण
• उत्कृष्ट सीधापन, गोलपन और दीवार मोटाई एकरूपता
• मुख्यधारा के क्षैतिज और ऊर्ध्वाधर भट्ठी मॉडल के साथ संगत
• उपकरण चित्रों के अनुसार अनुकूलित विनिर्माण

8. पूर्ण विनिर्देश ️ गहन अनुकूलन

• बाहरी व्यासः φ40mm ¥ φ500mm (अधिक अनुरोध पर उपलब्ध है)
• दीवार की मोटाईः 2 मिमी 15 मिमी विकल्प
• लंबाईः 3 मीटर या उससे अधिक तक अनुकूलन योग्य
• संरचनाएं: सीधी नली, दोनों छोरों से खुली, एक छोर सील, फ्लैंग नली
• प्रसंस्करण: लौ से पॉलिश किए गए छोर, पॉलिशिंग, चम्फरिंग, फ्लैंज फिटिंग
• सहायक उपकरण: क्वार्ट्ज नावें, ट्यूब प्लग और समर्थन घटक उपलब्ध हैं