Υψηλής καθαρότητας Custom Quartz Furnace Tube Μεγάλη διάμετρος για ημιαγωγούς

1. Υψηλής καθαρότητας ∙ Κέντρο καθαρών διαδικασιών

• Καθαρότητα SiO2 ≥ 99,99%, υψηλής ποιότητας έως 99,995%
• Εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε ιόντα μετάλλων (Na/K/Fe κλπ. < 1 ppm)
• Απαγορεύεται η αποβιτρικοποίηση, η πτητικότητα ή η αποβολή σωματιδίων σε υψηλές θερμοκρασίες
• Η "πρώτη γραμμή άμυνας" για την απόδοση των ημιαγωγών πλακιδίων ∙ ένας μολυσμένος σωλήνας φούρνου μπορεί να καταστρέψει ολόκληρη παρτίδα πλακιδίων

2. Εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα

• Διάρκεια λειτουργίας θερμοκρασίας 1100°C ∼ 1200°C, βραχυπρόθεσμη έως 1350°C+
• Σημείο μαλακώσεως περίπου 1700°C ∙ σωλήνες μεγάλου διαμέτρου αντέχουν στην εξασθένιση και την παραμόρφωση σε υψηλές θερμοκρασίες
• Συμβατό με τις συνήθεις διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας: διάχυση, οξείδωση, αναψύξη, LPCVD

3Ομοιόμορφη θερμοκρασία σταθερό θερμικό πεδίο

• Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και ακτινοβολητική μεταφορά θερμότητας του υλικού του κουάρτζου
• Ομοιόμορφο πάχος τοίχου εξασφαλίζει ένα σταθερό πεδίο θερμοκρασίας στο εσωτερικό του φούρνου
• Δουλεύει με συστήματα ελέγχου θερμοκρασίας για ακριβή έλεγχο σε επίπεδο ±0,5°C
• Διασφαλίζει τις ίδιες συνθήκες διεργασίας για κάθε πλάκα

4. Υπερ-χαμηλή θερμική επέκταση

• Συντελεστής θερμικής διαστολής μόλις 5,5 × 10−7/°C (περίπου μηδενική διαστολή)
• Εξαιρετική αντοχή σε θερμικά σοκ ̇ χωρίς ρωγμές σε συχνούς κύκλους θέρμανσης/ψύξης
• Διαμετρικά σταθερή μετά από επαναλαμβανόμενο θερμικό κύκλο ̇ χωρίς μακροχρόνια παραμόρφωση ή παραμόρφωση

5. Σημαντική αντοχή στη διάβρωση ∙ Αντιστέκεται στις ατμόσφαιρες διαδικασίας

• Αντιστέκεται σε ισχυρά οξέα (εκτός από το HF) και τα περισσότερα αέρια διαδικασίας
• Καμία αντίδραση με χλώριο, οξυγόνο ή αέρια ντόπινγκ (φωσφίνη / διβοράνιο κλπ.) σε υψηλές θερμοκρασίες
• Αντιστέκεται στην διάβρωση και την συσσώρευση ιζήσεων

6Πλήρως διαφανές ∆ Παρατήρηση και ακτινοβολία

• Πλήρως διαφανείς τοίχοι με υψηλή διαπερατότητα UV-IR
• Υποστηρίζει την υπερύθμιση με υπέρυθρες ακτινοβολίες για υψηλή θερμική απόδοση
• Ορατότητα σε πραγματικό χρόνο των συνθηκών του φούρνου για εύκολη παρακολούθηση της διαδικασίας

7. Ακριβείς διαστάσεις ταιριάζει σε διάφορους τύπους φούρνων

• Σκληρός έλεγχος της διάμετρου του σωλήνα, του πάχους του τοίχου και των ανοχής μήκους
• Εξαιρετική ευθεία, στρογγυλότητα και ομοιόμορφη πάχος τοίχου
• Συμβατό με τα κύρια οριζόντια και κατακόρυφα μοντέλα κλιβάνων
• Προσαρμοσμένη κατασκευή με υποστήριξη σχεδίων εξοπλισμού

8. Πλήρεις προδιαγραφές ️ Βαθιά προσαρμογή

• Εξωτερική διάμετρος: φ40 mm φ500 mm (μεγαλύτερη διαθέσιμη κατόπιν αιτήματος)
• Μοντέλο: 2 mm ∙ 15 mm
• Μέγεθος: προσαρμόσιμος έως 3 μέτρα ή περισσότερο
• Διαρθρώσεις: ίσιος σωλήνας, ανοιχτός και στα δύο άκρα, σφραγισμένος από το ένα άκρο, σωλήνας με φλάντζες
• Επεξεργασία: γυαλισμένες με φλόγα άκρες, γυαλισμός, διατριβή, τοποθέτηση φλάντζων
• Συσκευές: διαθέσιμα σκάφη από χαλαζία, σωλήνες και εξαρτήματα στήριξης