উচ্চ বিশুদ্ধতা কাস্টম কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউব বড় ব্যাসার্ধের জন্য অর্ধপরিবাহী

১. অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা – পরিচ্ছন্ন প্রক্রিয়ার মূল ভিত্তি

• SiO₂ বিশুদ্ধতা ≥ ৯৯.৯৯%, প্রিমিয়াম গ্রেড ৯৯.৯৯৫% পর্যন্ত
• অত্যন্ত কম ধাতব আয়ন (Na/K/Fe ইত্যাদি) < ১ppm)উচ্চ তাপমাত্রায় কোন ডিভিট্রিফিকেশন, উদ্বায়ীতা বা কণা ঝরে পড়া নেই
• সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার উৎপাদনের জন্য "প্রথম প্রতিরক্ষা রেখা" – একটি দূষিত চুল্লি টিউব পুরো ওয়েফার ব্যাচ নষ্ট করতে পারে
• ২. চরম তাপ প্রতিরোধ ক্ষমতা – বড় ব্যাসের জন্য স্থিতিশীল

দীর্ঘমেয়াদী পরিষেবা তাপমাত্রা ১১০০°C – ১২০০°C, স্বল্পমেয়াদী ১৩৫০°C+ পর্যন্ত

• নরম হওয়ার বিন্দু প্রায় ১৭০০°C – বড়-ব্যাসের টিউব উচ্চ তাপমাত্রায় ঝুলে পড়া এবং বিকৃতি প্রতিরোধ করে
• মূলধারার উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়াগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ: ডিফিউশন, অক্সিডেশন, অ্যানিলিং, LPCVD
• ৩. অভিন্ন তাপমাত্রা – স্থিতিশীল তাপীয় ক্ষেত্র

কোয়ার্টজ উপাদানের চমৎকার তাপ পরিবাহিতা এবং বিকিরণ তাপ স্থানান্তর

• অভিন্ন দেয়ালের পুরুত্ব চুল্লির ভিতরে একটি সামঞ্জস্যপূর্ণ তাপমাত্রা ক্ষেত্র নিশ্চিত করে
• ±০.৫°C স্তরে সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণের জন্য তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থার সাথে কাজ করে
• প্রতিটি ওয়েফারের জন্য অভিন্ন প্রক্রিয়া শর্তাবলী নিশ্চিত করে
• ৪. অতি-নিম্ন তাপীয় প্রসারণ – চমৎকার তাপীয় শক প্রতিরোধ

তাপীয় প্রসারণ সহগ মাত্র ৫.৫×১০⁻⁷/°C (প্রায় শূন্য প্রসারণ)

• অসাধারণ তাপীয় শক প্রতিরোধ – ঘন ঘন গরম/ঠান্ডা চক্রের অধীনে কোন ফাটল নেই
• পুনরাবৃত্তিমূলক তাপীয় চক্রের পরে মাত্রিকভাবে স্থিতিশীল – কোন দীর্ঘমেয়াদী ওয়ার্পিং বা বিকৃতি নেই
• ৫. শক্তিশালী ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা – প্রক্রিয়া বায়ুমণ্ডল সহ্য করে

শক্তিশালী অ্যাসিড (HF ব্যতীত) এবং বেশিরভাগ প্রক্রিয়া গ্যাস প্রতিরোধ করে

• উচ্চ তাপমাত্রায় ক্লোরিন, অক্সিজেন বা ডোপ্যান্ট গ্যাস (ফসফিন / ডিবোরেন ইত্যাদি) এর সাথে কোন বিক্রিয়া নেই
• ক্ষয় এবং জমাট বাঁধা প্রতিরোধ করে – পরিষ্কার করা সহজ, দীর্ঘ পরিষেবা জীবন
• ৬. সম্পূর্ণ স্বচ্ছ – পর্যবেক্ষণ ও বিকিরণ গরম করা

উচ্চ UV-থেকে-IR ট্রান্সমিট্যান্স সহ সম্পূর্ণ স্বচ্ছ দেয়াল

• উচ্চ তাপীয় দক্ষতার জন্য ইনফ্রারেড বিকিরণ গরম করা সমর্থন করে
• সহজ প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণের জন্য চুল্লির অবস্থার রিয়েল-টাইম দৃশ্যমানতা
• ৭. সুনির্দিষ্ট মাত্রা – বিভিন্ন চুল্লি ধরণের জন্য উপযুক্ত

টিউবের ব্যাস, দেয়ালের পুরুত্ব এবং দৈর্ঘ্যের সহনশীলতার কঠোর নিয়ন্ত্রণ

• চমৎকার সোজা, গোলাকার এবং দেয়ালের পুরুত্বের অভিন্নতা
• মূলধারার অনুভূমিক এবং উল্লম্ব চুল্লি মডেলগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ
• সরঞ্জাম অঙ্কন অনুযায়ী কাস্টম উত্পাদন সমর্থিত
• ৮. সম্পূর্ণ স্পেসিফিকেশন – গভীর কাস্টমাইজেশন

বাইরের ব্যাস: φ৪০মিমি – φ৫০০মিমি (অনুরোধে বড় উপলব্ধ)

• দেয়ালের পুরুত্ব: ২মিমি – ১৫মিমি বিকল্প
• দৈর্ঘ্য: ৩ মিটার বা তার বেশি পর্যন্ত কাস্টমাইজযোগ্য
• কাঠামো: সোজা টিউব, উভয় প্রান্তে খোলা, এক প্রান্তে সিল করা, ফ্ল্যাঞ্জড টিউব
• প্রক্রিয়াকরণ: ফ্লেম-পালিশ করা প্রান্ত, পালিশিং, চ্যামফারিং, ফ্ল্যাঞ্জ ফিটিং
• আনুষাঙ্গিক: কোয়ার্টজ বোট, টিউব প্লাগ এবং সমর্থন উপাদান উপলব্ধ