Tabung Tungku Kuarsa Kemurnian Tinggi Diameter Besar Kustom Untuk Semikonduktor

1. Ultra-High Purity ️ Inti dari Proses Bersih

• SiO2 kemurnian ≥ 99,99%, kelas premium hingga 99,995%
• Kandungan ion logam yang sangat rendah (Na/K/Fe dll < 1 ppm)
• Tidak ada devitrifikasi, penguapan atau pelepasan partikel pada suhu tinggi
• "Garis pertahanan pertama" untuk hasil wafer semikonduktor ∙ tabung tungku yang terkontaminasi dapat merusak seluruh batch wafer

2. Ketahanan panas yang ekstrim

• Suhu layanan jangka panjang 1100°C ∼ 1200°C, jangka pendek hingga 1350°C+
• Titik pelembut sekitar 1700°C ‡ tabung berdiameter besar tahan lemas dan deformasi pada suhu tinggi
• Kompatibel dengan proses suhu tinggi utama: difusi, oksidasi, penggilingan, LPCVD

3. Suhu seragam medan termal yang stabil

• Konduktivitas termal yang sangat baik dan transfer panas radian dari bahan kuarsa
• Ketebalan dinding yang seragam memastikan medan suhu yang konsisten di dalam tungku
• Bekerja dengan sistem kontrol suhu untuk kontrol yang tepat pada ± 0,5 °C
• Memastikan kondisi proses yang sama untuk setiap wafer

4. Ekspansi termal yang sangat rendah

• Koefisien ekspansi termal hanya 5,5×10−7/°C (ekspansi hampir nol)
• Ketahanan kejut termal yang luar biasa tidak retak dalam siklus pemanasan/pendinginan yang sering
• Dimensional stabil setelah siklus termal berulang tidak ada penyimpangan atau deformasi jangka panjang

5. Tahan korosi yang kuat Mengandungi atmosfer proses

• Tahan terhadap asam kuat (kecuali HF) dan sebagian besar gas proses
• Tidak ada reaksi dengan klorin, oksigen atau gas dopan (fosfin / diboran dll) pada suhu tinggi
• Tahan terhadap erosi dan penumpukan endapan mudah dibersihkan, umur panjang

6. Transparan sepenuhnya Observasi & radiant Heating

• Dinding yang sepenuhnya transparan dengan transmisi UV-IR yang tinggi
• Mendukung pemanasan sinar inframerah untuk efisiensi termal yang tinggi
• Visibilitas kondisi tungku secara real-time untuk pemantauan proses yang mudah

7. Dimensi yang Tepat

• Kontrol ketat terhadap diameter tabung, ketebalan dinding dan toleransi panjang
• Kejujuran yang sangat baik, bulat dan ketebalan dinding seragam
• Kompatibel dengan model tungku horisontal dan vertikal utama
• Manufaktur khusus yang didukung oleh gambar peralatan

8. Spesifikasi Lengkap Deep Customization

• Diameter luar: φ40mm φ500mm (lebih besar tersedia atas permintaan)
• Ketebalan dinding: 2mm 15mm pilihan
• Panjang: dapat disesuaikan hingga 3 meter atau lebih
• Struktur: tabung lurus, terbuka di kedua ujung, ditutup satu ujung, tabung flanged
• Pengolahan: ujung yang dipoles dengan api, dipoles, bergerigi, pemasangan flange
• Aksesoris: perahu kuarsa, colokan tabung dan komponen pendukung tersedia