Thuyền Thạch Anh Độ Tinh Khiết Cao Chịu Nhiệt Độ Cao Tùy Chỉnh
Chi tiết sản phẩm
| Vật liệu: | Thạch anh hợp nhất 99,99% | Hàm lượng ion kim loại: | Na/K/Fe < 1ppm |
|---|---|---|---|
| Nhiệt độ làm việc: | Lên tới 1200°C | Khả năng tương thích wafer: | 4", 6", 8", 12" |
| dung lượng khe cắm: | 25, 50, 100 tấm wafer | Dung sai khe cắm: | ± 0,1mm |
| Kết cấu: | Ngang, dọc | Ứng dụng: | Khuếch tán, oxy hóa, LPCVD |
| Làm nổi bật |
thuyền thạch anh có độ tinh khiết cao,thuyền thạch anh chịu nhiệt độ cao,Thuyền Wafer Thạch Anh Tùy Chỉnh |
||
Mô tả sản phẩm
1. Độ tinh khiết siêu cao – Không nhiễm kim loại
- Độ tinh khiết SiO₂ ≥ 99,99%, các cấp cao cấp lên đến 99,995%
- Hàm lượng ion kim loại cực thấp (Na/K/Fe v.v. < 1ppm)Không có hiện tượng kết tủa, bay hơi hoặc bong tróc hạt ở nhiệt độ cao
- Tuyến phòng thủ đầu tiên cho năng suất wafer – nhiễm kim loại trực tiếp gây lỗi thiết bị
- 2. Khả năng chịu nhiệt cực cao – Tương thích quy trình rộng
Nhiệt độ hoạt động liên tục 1200°C, cao hơn trong thời gian ngắn
- Điểm hóa mềm khoảng 1700°C – không bị mềm hoặc biến dạng ở nhiệt độ cao
- Tương thích với các quy trình nhiệt độ cao chính: khuếch tán, oxy hóa, ủ, LPCVD
- 3. Khe gia công chính xác – Tải wafer chính xác, đáng tin cậy
Dung sai bước khe ±0,1mm với dung sai chiều rộng khe nghiêm ngặt
- Độ song song của khe < 0,1mm
- Góc đặt wafer 88°±0,5° (gần thẳng đứng để tiếp xúc đồng đều với khí và nhiệt)Các khe chính xác đảm bảo điều kiện nhiệt và khí giống nhau cho mọi wafer
- 4. Độ giãn nở nhiệt cực thấp – Khả năng chống sốc nhiệt vượt trội
- Hệ số giãn nở nhiệt chỉ 5,5×10⁻⁷/°C (độ giãn nở gần bằng không)
Khả năng chống sốc nhiệt vượt trội – không bị nứt dưới các chu kỳ gia nhiệt/làm mát thường xuyên
- Ổn định kích thước sau các chu kỳ nhiệt lặp lại – không bị cong vênh hoặc biến dạng
- 5. Khả năng chống ăn mòn mạnh – Trơ hóa học
- Chống lại axit mạnh (trừ HF) và hầu hết các môi trường quy trình
Không phản ứng với clo, oxy, khí pha tạp v.v. ở nhiệt độ cao
- Chống xói mòn và tích tụ cặn – tuổi thọ cao
- 6. Cách điện cao – An toàn & Đáng tin cậy
- Điện trở suất cao (khoảng 7×10¹⁷ Ω·cm)
Duy trì hiệu suất cách điện tuyệt vời ở nhiệt độ cao
- Loại bỏ nhiễu rò rỉ để đảm bảo an toàn quy trình
- 7. Cấu trúc đa năng – Tương thích với nhiều loại lò
- Thuyền ngang (cho lò ngang) và thuyền dọc (cho lò dọc)
Thuyền đơn wafer / đa wafer (tùy chọn 25/50/100 khe)
- Tương thích với wafer 4", 6", 8", 12" (100/150/200/300mm)
- Số lượng khe, bước khe và cấu hình có thể tùy chỉnh sâu theo bản vẽ
- 8. Tạo hạt thấp – Đảm bảo quy trình sạch
- Bề mặt được xử lý tinh xảo – mịn và không có gờ
Giảm hiệu quả việc tạo hạt và cặn
- Phù hợp với môi trường quy trình phòng sạch
Product Highlights
1. Độ tinh khiết siêu cao – Không nhiễm kim loại Độ tinh khiết SiO₂ ≥ 99,99%, các cấp cao cấp lên đến 99,995% Hàm lượng ion kim loại cực thấp (Na/K/Fe v.v. < 1ppm)Không có hiện tượng kết tủa, bay hơi hoặc bong tróc hạt ở nhiệt độ cao Tuyến phòng thủ đầu tiên cho năng suất wafer – nhiễm kim loại trực ...
Ống Thủy Tinh Thạch Anh Hai Lớp Chịu Nhiệt Bề Mặt Đánh Bóng Độ Dày Thành
Product descriptions from the supplier High Temperature Polishing Customize Opaque Quartz Tube Quartz Tubing Purity Milky White Silica Quartz Tube Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Superior ...
Ống thủy tinh thạch anh nóng chảy trong suốt chịu nhiệt độ cao
Product descriptions from the supplier High Temperature Resistance: Operates up to 1100°C for durable performance. Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Optimal Light Transmission: >92% ...
Quartz ống kính tròn chống ăn mòn nhiệt độ cao minh bạch kích thước tùy chỉnh
Product descriptions from the supplier Custom Size High-Temperature Resistant Quartz Glass Tube Corrosion-Resistant Transparent Round Quartz Tube Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Superior ...
Ống thủy tinh thạch anh borosilicate cao chịu nhiệt trong suốt không ozone cắt đánh bóng
Product descriptions from the supplier Customized Clear Quartz Glass Tube High Borosilicate Transparent Heating Resistant Ozone Free Cutting Polished Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. ...
Vui lòng sử dụng biểu mẫu liên lạc trực tuyến của chúng tôi dưới đây nếu bạn có bất kỳ câu hỏi nào, nhóm của chúng tôi sẽ liên lạc lại với bạn càng sớm càng tốt.
