製品詳細
| 材料: | 99.99% 溶融石英 | 金属イオン含有量: | Na/K/Fe < 1ppm |
|---|---|---|---|
| 使用温度: | 1200℃まで | ウェーハの互換性: | 4インチ、6インチ、8インチ、12インチ |
| スロット容量: | 25、50、100 ウェーハ | スロット・トレランス: | ±0.1mm |
| 構造: | 水平、垂直 | 応用: | 拡散、酸化、LPCVD |
| ハイライト |
高純度石英ボート,耐高温石英舟,カスタマイズ石英ウェーハ舟 |
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製品の説明
1. 超高純度 – 金属汚染ゼロ
- SiO₂純度 ≥ 99.99%、プレミアムグレードは99.995%まで
- 金属イオン含有量が極めて低い (Na/K/Feなど < 1ppm)高温下での析出、揮発、粒子飛散なし
- ウェーハ収率の第一防衛線 – 金属汚染は直接的なデバイス故障の原因となります
- 2. 極めて高い耐熱性 – 幅広いプロセス互換性
連続使用温度 1200℃、短時間であればそれ以上も可能
- 軟化点 約1700℃ – 高温下でも軟化や変形なし
- 主要な高温プロセスに対応: 拡散、酸化、アニーリング、LPCVD
- 3. 精密加工スロット – 正確で信頼性の高いウェーハローディング
スロットピッチ公差 ±0.1mm、スロット幅公差も厳格
- スロット平行度 < 0.1mm
- ウェーハ配置角度 88°±0.5° (均一なガス・熱暴露のためのほぼ垂直)精密なスロットにより、各ウェーハに同一の熱およびガス条件を保証
- 4. 超低熱膨張 – 優れた耐熱衝撃性
- 熱膨張係数はわずか 5.5×10⁻⁷/℃ (ほぼゼロ膨張)
優れた耐熱衝撃性 – 頻繁な加熱/冷却サイクルでも割れなし
- 繰り返し熱サイクル後も寸法安定 – 反りや変形なし
- 5. 高い耐食性 – 化学的安定性
- 強酸 (HFを除く) およびほとんどのプロセス雰囲気に対する耐性
高温下での塩素、酸素、ドーパントガスなどとの反応なし
- 浸食や堆積物の付着に強く、長寿命
- 6. 高い電気絶縁性 – 安全で信頼性が高い
- 高い抵抗率 (約 7×10¹⁷ Ω・cm)
高温下でも優れた絶縁性能を維持
- プロセス安全のための漏電干渉を排除
- 7. 多様な構造 – 様々なファーネスタイプに対応
- 水平ボート (水平ファーネス用) および垂直ボート (垂直ファーネス用)
シングルウェーハ/マルチウェーハボート (25/50/100スロットオプション)
- 4インチ、6インチ、8インチ、12インチ (100/150/200/300mm) ウェーハに対応
- スロット数、ピッチ、プロファイルは図面に基づき深くカスタマイズ可能
- 8. 低粒子発生 – クリーンプロセス保証
- 表面処理が精密 – 滑らかでバリなし
粒子発生と残留物を効果的に低減
- クリーンルームプロセス環境に適しています
Product Highlights
1. 超高純度 – 金属汚染ゼロ SiO₂純度 ≥ 99.99%、プレミアムグレードは99.995%まで 金属イオン含有量が極めて低い (Na/K/Feなど < 1ppm)高温下での析出、揮発、粒子飛散なし ウェーハ収率の第一防衛線 – 金属汚染は直接的なデバイス故障の原因となります 2. 極めて高い耐熱性 – 幅広いプロセス互換性 連続使用温度 1200℃、短時間であればそれ以上も可能 軟化点 約1700℃ – 高温下でも軟化や変形なし 主要な高温プロセスに対応: 拡散、酸化、アニーリング、LPCVD 3. 精密加工スロット – 正確で信頼性の高いウェーハローディング スロットピッチ公差 ...
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