Barco de cuarzo de alta pureza resistente a altas temperaturas personalizable

1. Ultra-Alta pureza Cero contaminación de metales

• SiO2 de pureza ≥ 99,99%, grados superiores hasta 99,995%
• Contenido de iones metálicos extremadamente bajo (Na/K/Fe, etc. < 1 ppm)
• No hay precipitación, volatilización o derramamiento de partículas a altas temperaturas
• La primera línea de defensa para el rendimiento de la oblea ∙ la contaminación por metal causa directamente el fallo del dispositivo

2. Resistencia al calor extremo

• Temperatura de funcionamiento continuo 1200°C, superior durante períodos cortos
• Punto de ablandamiento aprox. 1700°C ° sin ablandamiento ni deformación a altas temperaturas
• Compatible con los procesos de alta temperatura convencionales: difusión, oxidación, recocido, LPCVD

3. Las ranuras de precisión-mecanizado Precise, confiable carga de obleas

• Tolerancia del paso de la ranura ± 0,1 mm con una tolerancia estricta del ancho de la ranura
• Paralelidad de ranura < 0,1 mm
• Ángulo de colocación de la oblea 88°±0,5° (casi vertical para una exposición uniforme al gas y al calor)
• Las ranuras precisas aseguran condiciones térmicas y de gas idénticas para cada oblea

4. Expansión térmica ultrabaja. Resistencia superior al choque térmico

• Coeficiente de expansión térmica de sólo 5,5×10−7/°C (expansión cercana a cero)
• Resistencia excepcional a los golpes térmicos no hay grietas en ciclos frecuentes de calentamiento/enfriamiento
• Estabilidad dimensional después de ciclos térmicos repetidos sin deformación ni deformación

5. Fuerte resistencia a la corrosión

• Resiste ácidos fuertes (excepto HF) y la mayoría de las atmósferas de proceso
• No hay reacción con cloro, oxígeno, gases dopantes, etc. a altas temperaturas
• Resiste a la erosión y a la acumulación de depósitos

6. Alto aislamiento eléctrico ️ Seguro y confiable

• Alta resistividad (aproximadamente 7×107 Ω·cm)
• Mantiene un excelente rendimiento aislante a altas temperaturas
• Elimina las interferencias de fugas para la seguridad del proceso

7- Estructuras versátiles - Compatibles con varios tipos de hornos

• Barcos horizontales (para hornos horizontales) y barcos verticales (para hornos verticales)
• Barcos de una sola o varias obleas (opciones de ranura 25/50/100)
• Compatible con las obleas de 4", 6", 8", 12" (100/150/200/300mm)
• Número de ranuras, inclinación y perfil profundamente personalizables por dibujos

8. Producción de partículas bajas

• Superficie finamente tratada lisos y sin hendiduras
• Reduce eficazmente la generación de partículas y residuos
• Adecuado para ambientes de proceso de salas limpias