Barco de Quartzo de Alta Pureza Resistente a Altas Temperaturas Personalizável

1. Ultra-Alta Pureza – Contaminação Zero por Metais

• Pureza de SiO₂ ≥ 99,99%, graus premium até 99,995%
• Conteúdo extremamente baixo de íons metálicos (Na/K/Fe etc. < 1ppm)Sem precipitação, volatilização ou desprendimento de partículas em altas temperaturas
• A primeira linha de defesa para o rendimento de wafers – a contaminação por metais causa diretamente falha do dispositivo
• 2. Resistência Extrema ao Calor – Ampla Compatibilidade de Processo

Temperatura de serviço contínuo 1200°C, mais alta por curtos períodos

• Ponto de amolecimento aprox. 1700°C – sem amolecimento ou deformação em altas temperaturas
• Compatível com processos de alta temperatura convencionais: difusão, oxidação, recozimento, LPCVD
• 3. Slots Usinados com Precisão – Carregamento de Wafer Preciso e Confiável

Tolerância de passo de slot ±0,1mm com tolerância rigorosa de largura de slot

• Paralelismo de slot < 0,1mm
• Ângulo de posicionamento do wafer 88°±0,5° (quase vertical para exposição uniforme a gás e calor)Slots precisos garantem condições térmicas e de gás idênticas para cada wafer
• 4. Expansão Térmica Ultra-Baixa – Resistência Superior ao Choque Térmico
• Coeficiente de expansão térmica de apenas 5,5×10⁻⁷/°C (expansão quase zero)

Excelente resistência ao choque térmico – sem rachaduras sob ciclos frequentes de aquecimento/resfriamento

• Dimensionalmente estável após ciclos térmicos repetidos – sem empenamento ou deformação
• 5. Forte Resistência à Corrosão – Inércia Química
• Resiste a ácidos fortes (exceto HF) e à maioria das atmosferas de processo

Sem reação com cloro, oxigênio, gases dopantes etc. em altas temperaturas

• Resiste à erosão e acúmulo de depósitos – longa vida útil
• 6. Alto Isolamento Elétrico – Seguro e Confiável
• Alta resistividade (aprox. 7×10¹⁷ Ω·cm)

Mantém excelente desempenho de isolamento em altas temperaturas

• Elimina interferência de fuga para segurança do processo
• 7. Estruturas Versáteis – Compatível com Vários Tipos de Fornos
• Barcos horizontais (para fornos horizontais) e barcos verticais (para fornos verticais)

Barcos para wafer único / multi-wafer (opções de 25/50/100 slots)

• Compatível com wafers de 4", 6", 8", 12" (100/150/200/300mm)
• Contagem de slots, passo e perfil profundamente personalizáveis de acordo com desenhos
• 8. Baixa Geração de Partículas – Garantia de Processo Limpo
• Superfície finamente tratada – lisa e sem rebarbas

Reduz efetivamente a geração de partículas e resíduos

• Adequado para ambientes de processo em sala limpa