Hochreine Quarzschale Hochtemperaturbeständige kundenspezifische Anpassung
Produktdetails
| Material: | 99,99 % Quarzglas | Metallionengehalt: | Na/K/Fe < 1 ppm |
|---|---|---|---|
| Arbeitstemperatur: | Bis 1200°C | Wafer-Kompatibilität: | 4", 6", 8", 12" |
| Kapazität der Schlitten: | 25, 50, 100 Waffeln | Toleranz für Schlitze: | ±0,1 mm |
| Struktur: | Horizontal, vertikal | Anwendung: | Diffusion, Oxidation, LPCVD |
| Hervorheben |
Boot aus hochreinem Quarz,hochtemperaturbeständiges Quarzboot,Kundenspezifische Quarzwafer-Schale |
||
Produkt-Beschreibung
1. Ultra-Hohe Reinheit – Keine Metallkontamination
- SiO₂ Reinheit ≥ 99,99 %, Premium-Qualitäten bis zu 99,995 %
- Extrem niedriger Metallionengehalt (Na/K/Fe etc. < 1 ppm)Keine Ausfällung, Verflüchtigung oder Partikelabwurf bei hohen Temperaturen
- Die erste Verteidigungslinie für die Waferausbeute – Metallkontamination verursacht direkt Geräteausfälle
- 2. Extreme Hitzebeständigkeit – Breite Prozesskompatibilität
Dauerbetriebstemperatur 1200 °C, kurzzeitig höher
- Erweichungspunkt ca. 1700 °C – keine Erweichung oder Verformung bei hohen Temperaturen
- Kompatibel mit gängigen Hochtemperaturprozessen: Diffusion, Oxidation, Ausglühen, LPCVD
- 3. Präzisionsgefertigte Schlitze – Genaue, zuverlässige Waferbeladung
Schlitzteilungstoleranz ±0,1 mm mit strenger Schlitzbreitentoleranz
- Schlitzparallelität < 0,1 mm
- Wafer-Platzierungswinkel 88° ±0,5° (nahezu vertikal für gleichmäßige Gas- und Wärmeexposition)Präzise Schlitze gewährleisten identische thermische und Gasbedingungen für jeden Wafer
- 4. Ultra-geringe Wärmeausdehnung – Überragende thermische Schockbeständigkeit
- Wärmeausdehnungskoeffizient von nur 5,5×10⁻⁷/°C (nahezu Null-Ausdehnung)
Hervorragende thermische Schockbeständigkeit – kein Reißen bei häufigen Heiz-/Kühlzyklen
- Dimensionsstabil nach wiederholten thermischen Zyklen – keine Verformung oder Verzerrung
- 5. Starke Korrosionsbeständigkeit – Chemische Inertheit
- Beständig gegen starke Säuren (außer HF) und die meisten Prozessatmosphären
Keine Reaktion mit Chlor, Sauerstoff, Dotiergasen etc. bei hohen Temperaturen
- Beständig gegen Erosion und Ablagerungen – lange Lebensdauer
- 6. Hohe elektrische Isolierung – Sicher und zuverlässig
- Hoher spezifischer Widerstand (ca. 7×10¹⁷ Ω·cm)
Behält hervorragende Isolationseigenschaften bei hohen Temperaturen bei
- Eliminiert Leckage-Störungen für Prozesssicherheit
- 7. Vielseitige Strukturen – Kompatibel mit verschiedenen Ofentypen
- Horizontale Boote (für horizontale Öfen) und vertikale Boote (für vertikale Öfen)
Einzelwafer-/Mehrwafer-Boote (Optionen für 25/50/100 Schlitze)
- Kompatibel mit 4", 6", 8", 12" (100/150/200/300 mm) Wafern
- Schlitzanzahl, -teilung und -profil tiefgreifend anpassbar gemäß Zeichnungen
- 8. Geringe Partikelbildung – Gewährleistung sauberer Prozesse
- Fein behandelte Oberfläche – glatt und gratfrei
Reduziert effektiv Partikelbildung und Rückstände
- Geeignet für Reinraumprozessumgebungen
Product Highlights
1. Ultra-Hohe Reinheit – Keine Metallkontamination SiO₂ Reinheit ≥ 99,99 %, Premium-Qualitäten bis zu 99,995 % Extrem niedriger Metallionengehalt (Na/K/Fe etc. < 1 ppm)Keine Ausfällung, Verflüchtigung oder Partikelabwurf bei hohen Temperaturen Die erste Verteidigungslinie für die Waferausbeute – ...
Doppelwandiges Quarzglasrohr, hitzebeständig, polierte Oberfläche, Wandstärke
Product descriptions from the supplier High Temperature Polishing Customize Opaque Quartz Tube Quartz Tubing Purity Milky White Silica Quartz Tube Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Superior ...
Silikonfusionsquarzglasröhrchen durchsichtige hochtemperaturklare Quarzröhrchen
Product descriptions from the supplier High Temperature Resistance: Operates up to 1100°C for durable performance. Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Optimal Light Transmission: >92% ...
Rundes Quarzglasrohr Korrosionsbeständig hochtemperaturfeste Transparente individuelle Größe
Product descriptions from the supplier Custom Size High-Temperature Resistant Quartz Glass Tube Corrosion-Resistant Transparent Round Quartz Tube Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Superior ...
Hochborosilikat-Quarzglasrohr Transparent Hitzebeständig Ozonfrei Geschnitten Poliert
Product descriptions from the supplier Customized Clear Quartz Glass Tube High Borosilicate Transparent Heating Resistant Ozone Free Cutting Polished Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. ...
Bitte nutzen Sie unser Online-Anfrage-Kontaktformular unten, wenn Sie Fragen haben, unser Team wird sich so schnell wie möglich mit Ihnen in Verbindung setzen.
