Yüksek Saflıkta Kuvars Tekne Yüksek Sıcaklığa Dayanıklı Özelleştirme
Ürün Ayrıntıları
| Malzeme: | %99,99 Erimiş Kuvars | Metal İyon İçeriği: | Na/K/Fe < 1 ppm |
|---|---|---|---|
| Çalışma Sıcaklığı: | 1200°C'ye kadar | Gofret Uyumluluğu: | 4", 6", 8", 12" |
| yuva kapasitesi: | 25, 50, 100 gofret | Yuva Toleransı: | ±0,1 mm |
| Yapı: | Yatay, dikey | Başvuru: | Difüzyon, Oksidasyon, LPCVD |
| Vurgulamak |
yüksek saflıkta kuvars tekne,Yüksek sıcaklığa dayanıklı kuvars teknesi,Özelleştirme Kuvars Wafer Teknesi |
||
Ürün Tanımı
1Ultra Yüksek Saflık Sıfır Metal Kirliliği
- SiO2 saflığı ≥ 99,99%, premium sınıfları 99,995%'e kadar
- Çok düşük metal iyon içeriği (Na/K/Fe vb. < 1ppm)
- Yüksek sıcaklıklarda yağış, uçuş veya parçacık dökülmesi yoktur
- Wafer verimi için ilk savunma hattı metal kirliliği doğrudan cihaz arızasına neden olur
2Aşırı ısıya dirençli geniş süreç uyumluluğu
- Devamlı çalışma sıcaklığı 1200°C, kısa süreler için daha yüksek
- Yumuşatma noktası yaklaşık 1700°C ̇ yüksek sıcaklıklarda yumuşatma veya deformasyon olmaz
- Genel yüksek sıcaklıklı işlemlerle uyumludur: difüzyon, oksidasyon, kızartma, LPCVD
3. Kesinlikle işlenmiş yuvalar ️ Kesin ve güvenilir vafra yükleme
- Sıkı bir yuva genişliği toleransı ile yuva mesafesinin toleransı ±0,1 mm
- Çukur paralelliği < 0,1 mm
- Wafer yerleştirme açısı 88°±0,5° (gaz ve ısıya eşit maruz kalmak için neredeyse dikey)
- Kesin boşluklar her levha için aynı termal ve gaz koşullarını sağlar
4. Ultra Düşük Termal Genişleme Üstün Termal Şok Direnci
- Sadece 5.5×10−7/°C'lik termal genişleme katsayısı (sıfıra yakın genişleme)
- Üstün termal şok dayanıklılığı, sık ısıtma/soğutma döngüleri altında çatlamıyor
- Tekrarlanan ısı döngüsünden sonra boyutsal olarak istikrarlı ️ çarpıtma veya deformasyon yok
5. Güçlü korozyon direnci ️ Kimyasal hareketsizlik
- Güçlü asitlere (HF hariç) ve çoğu süreç atmosferine dayanıklıdır
- Yüksek sıcaklıklarda klor, oksijen, dopant gazları vb. ile reaksiyon olmaz
- Erozyona ve birikime karşı dayanıklı
6Yüksek elektrik yalıtımı Güvenli ve güvenilir
- Yüksek direnç (yaklaşık 7×107 Ω·cm)
- Yüksek sıcaklıklarda mükemmel yalıtım performansını korur
- Süreç güvenliği için sızıntı müdahalesi ortadan kaldırır
7Çok yönlü yapılar çeşitli fırın türleriyle uyumludur
- Yatay tekneler (yatay fırınlar için) ve dikey tekneler ( Dikey fırınlar için)
- Tek veferli / çok veferli tekneler (25/50/100 yuva seçenekleri)
- 4", 6", 8", 12" (100/150/200/300mm) levhalarla uyumludur
- Çizimlere göre derinlemesine özelleştirilebilir yuva sayısı, mesafe ve profil
8. Düşük Parçacık Üretimi ️ Temiz Süreç Güvenliği
- İnce işlenmiş yüzey
- Parçacık üretimini ve kalıntılarını etkili bir şekilde azaltır
- Temiz oda süreç ortamları için uygundur
Product Highlights
1Ultra Yüksek Saflık Sıfır Metal Kirliliği SiO2 saflığı ≥ 99,99%, premium sınıfları 99,995%'e kadar Çok düşük metal iyon içeriği (Na/K/Fe vb. < 1ppm) Yüksek sıcaklıklarda yağış, uçuş veya parçacık dökülmesi yoktur Wafer verimi için ilk savunma hattı metal kirliliği doğrudan cihaz arızasına neden ...
Çift Tüplü Kuvars Cam Tüp Füzyon Silika Isıya Dayanıklı Cilalı Yüzey Duvar Kalınlığı
Product descriptions from the supplier High Temperature Polishing Customize Opaque Quartz Tube Quartz Tubing Purity Milky White Silica Quartz Tube Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Superior ...
Silika Erimiş Kuvars Cam Tüp Şeffaf Yüksek Sıcaklık Açık Kuvars Tüp
Product descriptions from the supplier High Temperature Resistance: Operates up to 1100°C for durable performance. Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Optimal Light Transmission: >92% ...
Yuvarlak Kuvars Cam Tüp Korozyona Dayanıklı Yüksek Sıcaklık Şeffaf Özel Boyut
Product descriptions from the supplier Custom Size High-Temperature Resistant Quartz Glass Tube Corrosion-Resistant Transparent Round Quartz Tube Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. Superior ...
Yüksek Borosilikat Kuvars Cam Tüp Şeffaf Isıtmaya Dirençli Ozon Serbest Kesme Poli
Product descriptions from the supplier Customized Clear Quartz Glass Tube High Borosilicate Transparent Heating Resistant Ozone Free Cutting Polished Exceptional Hardness: Mohs scale 6.6 ensures robust grinding capabilities. Precision Cutting: Ideal for high-precision grinding of quartz glass. ...
Herhangi bir sorunuz varsa lütfen aşağıdaki çevrimiçi talep iletişim formumuzu kullanın, ekibimiz en kısa sürede size geri dönüş yapacaktır.
