उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज नाव उच्च तापमान प्रतिरोधी अनुकूलन
उत्पाद का विवरण
| सामग्री: | 99.99% फ़्यूज़्ड क्वार्ट्ज़ | धातु आयन सामग्री: | Na/K/Fe <1पीपीएम |
|---|---|---|---|
| कार्य तापमान: | 1200°C तक | वेफर संगतता: | 4", 6", 8", 12" |
| स्लॉट क्षमता: | 25, 50, 100 वेफर्स | स्लॉट सहनशीलता: | ±0.1मिमी |
| संरचना: | क्षैतिज लंबवत | आवेदन: | प्रसार, ऑक्सीकरण, एलपीसीवीडी |
| प्रमुखता देना |
उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज नाव,उच्च तापमान प्रतिरोधी क्वार्ट्ज नाव,अनुकूलन क्वार्ट्ज वेफर बोट |
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उत्पाद का वर्णन
1अति-उच्च शुद्धता शून्य धातु संदूषण
- SiO2 शुद्धता ≥ 99.99%, उच्च श्रेणी के ग्रेड 99.995% तक
- बहुत कम धातु आयनों की मात्रा (Na/K/Fe आदि < 1ppm)
- उच्च तापमान पर कोई वर्षा, वाष्पीकरण या कणों का बहाव नहीं
- वेफर की उपज के लिए रक्षा की पहली पंक्ति धातु संदूषण सीधे डिवाइस की विफलता का कारण बनता है
2अत्यधिक गर्मी प्रतिरोध ️ व्यापक प्रक्रिया संगतता
- निरंतर संचालन तापमान 1200°C, कम समय के लिए अधिक
- नरम होने का बिंदु लगभग 1700°C उच्च तापमान पर नरम या विरूपण नहीं
- मुख्यधारा के उच्च तापमान प्रक्रियाओं के साथ संगतः प्रसार, ऑक्सीकरण, annealing, LPCVD
3. परिशुद्धता से मशीनीकृत स्लॉट ️ सटीक, विश्वसनीय वेफर लोडिंग
- कठोर स्लॉट चौड़ाई सहिष्णुता के साथ स्लॉट पिच सहिष्णुता ±0.1mm
- स्लॉट समानांतरता < 0.1 मिमी
- वेफर के प्लेसमेंट का कोण 88°±0.5° (एक समान गैस और गर्मी के संपर्क के लिए लगभग ऊर्ध्वाधर)
- सटीक स्लॉट प्रत्येक वेफर के लिए समान थर्मल और गैस स्थितियों को सुनिश्चित करते हैं
4अल्ट्रा-लो थर्मल एक्सपेंशन
- थर्मल विस्तार गुणांक केवल 5.5×10−7/°C (लगभग शून्य विस्तार)
- उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध ️ लगातार हीटिंग/कूलिंग चक्रों में कोई क्रैकिंग नहीं
- बार-बार थर्मल साइकलिंग के बाद आयामी स्थिर ️ कोई विकृति या विकृति नहीं
5. मजबूत संक्षारण प्रतिरोध ️ रासायनिक निष्क्रियता
- मजबूत एसिड (एचएफ को छोड़कर) और अधिकांश प्रक्रिया वातावरण के प्रतिरोधी
- उच्च तापमान पर क्लोरीन, ऑक्सीजन, डोपेंट गैसों आदि के साथ कोई प्रतिक्रिया नहीं
- क्षरण और जमाव के निर्माण के लिए प्रतिरोधी
6उच्च विद्युत इन्सुलेशन सुरक्षित और विश्वसनीय
- उच्च प्रतिरोध (लगभग 7×107 Ω·cm)
- उच्च तापमान पर उत्कृष्ट इन्सुलेशन प्रदर्शन बनाए रखता है
- प्रक्रिया सुरक्षा के लिए रिसाव हस्तक्षेप को समाप्त करता है
7. बहुमुखी संरचनाएं ️ विभिन्न भट्ठी प्रकारों के साथ संगत
- क्षैतिज नावें (क्षैतिज भट्टियों के लिए) और ऊर्ध्वाधर नावें (ऊर्ध्वाधर भट्टियों के लिए)
- सिंगल-वेफर/मल्टी-वेफर बोट (25/50/100 स्लॉट विकल्प)
- 4", 6", 8", 12" (100/150/200/300mm) वेफर्स के साथ संगत
- स्लॉट की संख्या, पिच और प्रोफ़ाइल गहराई से चित्रों के अनुसार अनुकूलन योग्य
8. कम कणों का उत्पादन ️ स्वच्छ प्रक्रिया आश्वासन
- ठीक से इलाज की गई सतह ️ चिकनी और फट मुक्त
- कणों के उत्पादन और अवशेषों को प्रभावी ढंग से कम करता है
- क्लीनरूम प्रक्रिया वातावरण के लिए उपयुक्त
Product Highlights
1अति-उच्च शुद्धता शून्य धातु संदूषण SiO2 शुद्धता ≥ 99.99%, उच्च श्रेणी के ग्रेड 99.995% तक बहुत कम धातु आयनों की मात्रा (Na/K/Fe आदि < 1ppm) उच्च तापमान पर कोई वर्षा, वाष्पीकरण या कणों का बहाव नहीं वेफर की उपज के लिए रक्षा की पहली पंक्ति धातु संदूषण सीधे डिवाइस की विफलता का कारण बनता है 2अत्यधिक गर्...
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