Łódź kwarcowa o wysokiej czystości, odporna na wysokie temperatury, z możliwością dostosowania

1. Ultra-wysoka czystość – brak zanieczyszczeń metalami

• Czystość SiO₂ ≥ 99,99%, klasy premium do 99,995%
• Niezwykle niska zawartość jonów metali (Na/K/Fe itp. < 1 ppm)Brak osadów, lotności lub uwalniania cząstek w wysokich temperaturach
• Pierwsza linia obrony dla wydajności płytek – zanieczyszczenia metalami bezpośrednio powodują awarie urządzeń
• 2. Ekstremalna odporność na ciepło – szeroka kompatybilność procesowa

Ciągła temperatura pracy 1200°C, wyższa przez krótki czas

• Temperatura mięknienia ok. 1700°C – brak mięknienia lub deformacji w wysokich temperaturach
• Kompatybilny z głównymi procesami wysokotemperaturowymi: dyfuzja, utlenianie, wyżarzanie, LPCVD
• 3. Precyzyjnie obrobione szczeliny – dokładne, niezawodne ładowanie płytek

Tolerancja rozstawu szczelin ±0,1 mm przy ścisłej tolerancji szerokości szczelin

• Równoległość szczelin < 0,1 mm
• Kąt ułożenia płytki 88°±0,5° (prawie pionowy dla równomiernego narażenia na gaz i ciepło)Precyzyjne szczeliny zapewniają identyczne warunki termiczne i gazowe dla każdej płytki
• 4. Ultra-niskie rozszerzalność cieplna – doskonała odporność na szok termiczny
• Współczynnik rozszerzalności cieplnej tylko 5,5×10⁻⁷/°C (rozszerzalność bliska zeru)

Wyjątkowa odporność na szok termiczny – brak pękania pod wpływem częstych cykli ogrzewania/chłodzenia

• Stabilność wymiarowa po wielokrotnych cyklach termicznych – brak wypaczeń lub deformacji
• 5. Silna odporność na korozję – obojętność chemiczna
• Odporny na silne kwasy (z wyjątkiem HF) i większość atmosfer procesowych

Brak reakcji z chlorem, tlenem, gazami domieszkującymi itp. w wysokich temperaturach

• Odporny na erozję i osadzanie się – długa żywotność
• 6. Wysoka izolacja elektryczna – bezpieczna i niezawodna
• Wysoka rezystywność (ok. 7×10¹⁷ Ω·cm)

Utrzymuje doskonałą wydajność izolacji w wysokich temperaturach

• Eliminuje zakłócenia spowodowane wyciekami dla bezpieczeństwa procesu
• 7. Wszechstronne konstrukcje – kompatybilne z różnymi typami pieców
• Łodzie poziome (do pieców poziomych) i łodzie pionowe (do pieców pionowych)

Łodzie na pojedyncze/wiele płytek (opcje 25/50/100 szczelin)

• Kompatybilny z płytkami 4", 6", 8", 12" (100/150/200/300 mm)
• Liczba szczelin, rozstaw i profil głęboko konfigurowalne zgodnie z rysunkami
• 8. Niska generacja cząstek – gwarancja czystości procesu
• Drobno obrabiana powierzchnia – gładka i bez zadziorów

Skutecznie redukuje generowanie cząstek i pozostałości

• Nadaje się do środowisk procesowych w pomieszczeniach czystych