La qualité du quartz de haute pureté résistant aux températures élevées

1. Ultra-Haute Pureté – Zéro Contamination Métallique

• Pureté SiO₂ ≥ 99,99 %, grades premium jusqu'à 99,995 %
• Teneur extrêmement faible en ions métalliques (Na/K/Fe etc. < 1 ppm)Pas de précipitation, de volatilisation ou de décollement de particules à haute température
• La première ligne de défense pour le rendement des wafers – la contamination métallique cause directement des défaillances de dispositifs
• 2. Résistance Extrême à la Chaleur – Large Compatibilité de Processus

Température de service continu 1200 °C, plus élevée pour de courtes périodes

• Point de ramollissement env. 1700 °C – pas de ramollissement ni de déformation à haute température
• Compatible avec les processus à haute température courants : diffusion, oxydation, recuit, LPCVD
• 3. Fentes usinées avec précision – Chargement de wafers précis et fiable

Tolérance de pas de fente ±0,1 mm avec tolérance de largeur de fente stricte

• Parallélisme des fentes < 0,1 mm
• Angle de placement du wafer 88° ±0,5° (presque vertical pour une exposition uniforme aux gaz et à la chaleur)Des fentes précises garantissent des conditions thermiques et gazeuses identiques pour chaque wafer
• 4. Très Faible Dilatation Thermique – Résistance Supérieure aux Chocs Thermiques
• Coefficient de dilatation thermique de seulement 5,5×10⁻⁷/°C (dilatation quasi nulle)

Résistance exceptionnelle aux chocs thermiques – pas de fissuration sous des cycles de chauffage/refroidissement fréquents

• Stable dimensionnellement après des cycles thermiques répétés – pas de déformation ni de gauchissement
• 5. Forte Résistance à la Corrosion – Inertie Chimique
• Résiste aux acides forts (sauf HF) et à la plupart des atmosphères de processus

Aucune réaction avec le chlore, l'oxygène, les gaz dopants etc. à haute température

• Résiste à l'érosion et à l'accumulation de dépôts – longue durée de vie
• 6. Haute Isolation Électrique – Sûr et Fiable
• Haute résistivité (env. 7×10¹⁷ Ω·cm)

Maintient d'excellentes performances d'isolation à haute température

• Élimine les interférences de fuite pour la sécurité du processus
• 7. Structures Polyvalentes – Compatible avec Divers Types de Fours
• Bateaux horizontaux (pour fours horizontaux) et bateaux verticaux (pour fours verticaux)

Bateaux pour wafer unique / multi-wafers (options de 25/50/100 fentes)

• Compatible avec les wafers de 4", 6", 8", 12" (100/150/200/300 mm)
• Nombre de fentes, pas et profil profondément personnalisables selon les dessins
• 8. Faible Génération de Particules – Assurance de Processus Propre
• Surface finement traitée – lisse et sans bavures

Réduit efficacement la génération de particules et les résidus

• Convient aux environnements de processus en salle blanche