제품 상세정보
| 재료: | 99.99% 융합 석영 | 금속 이온 함량: | Na/K/Fe < 1ppm |
|---|---|---|---|
| 작동 온도: | 최대 1200°C | 웨이퍼 호환성: | 4", 6", 8", 12" |
| 슬롯 용량: | 웨이퍼 25, 50, 100개 | 슬롯 용도: | ±0.1mm |
| 구조: | 수평, 수직 | 애플리케이션: | 확산, 산화, LPCVD |
| 강조하다 |
고순도 석영 보트,고온 내성 쿼츠 보트,커스터마이징 쿼츠 웨이퍼 보트 |
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제품 설명
1. 초고순도 – 금속 오염 제로
- SiO₂ 순도 ≥ 99.99%, 프리미엄 등급 최대 99.995%
- 극도로 낮은 금속 이온 함량 (Na/K/Fe 등)< 1ppm)
- 고온에서 침전, 휘발 또는 입자 방출 없음
- 웨이퍼 수율의 첫 번째 방어선 – 금속 오염은 직접적으로 장치 고장을 유발합니다.
2. 극한 내열성 – 광범위한 공정 호환성
- 연속 사용 온도 1200°C, 단시간 동안 더 높음
- 연화점 약 1700°C – 고온에서 연화 또는 변형 없음
- 주요 고온 공정과 호환: 확산, 산화, 어닐링, LPCVD
3. 정밀 가공 슬롯 – 정확하고 안정적인 웨이퍼 로딩
- 엄격한 슬롯 폭 허용 오차와 함께 슬롯 피치 허용 오차 ±0.1mm
- 슬롯 평행도< 0.1mm
- 웨이퍼 배치 각도 88°±0.5° (균일한 가스 및 열 노출을 위한 거의 수직)
- 정밀한 슬롯은 모든 웨이퍼에 대해 동일한 열 및 가스 조건을 보장합니다.
4. 초저 열팽창 – 우수한 열충격 저항성
- 열팽창 계수 5.5×10⁻⁷/°C (거의 제로 팽창)
- 뛰어난 열충격 저항성 – 빈번한 가열/냉각 주기에서 균열 없음
- 반복적인 열 사이클링 후 치수 안정성 – 뒤틀림 또는 변형 없음
5. 강력한 내식성 – 화학적 불활성
- 강산(HF 제외) 및 대부분의 공정 분위기에 저항
- 고온에서 염소, 산소, 도펀트 가스 등과 반응 없음
- 침식 및 증착 방지 – 긴 서비스 수명
6. 높은 전기 절연성 – 안전하고 신뢰할 수 있음
- 높은 비저항 (약 7×10⁷ Ω·cm)
- 고온에서 우수한 절연 성능 유지
- 공정 안전을 위한 누설 간섭 제거
7. 다용도 구조 – 다양한 퍼니스 유형과 호환
- 수평 보트 (수평 퍼니스용) 및 수직 보트 (수직 퍼니스용)
- 단일 웨이퍼 / 다중 웨이퍼 보트 (25/50/100 슬롯 옵션)
- 4", 6", 8", 12" (100/150/200/300mm) 웨이퍼와 호환
- 슬롯 수, 피치 및 프로파일은 도면에 따라 깊이 사용자 정의 가능
8. 낮은 입자 발생 – 깨끗한 공정 보증
- 미세 처리된 표면 – 부드럽고 버 없음
- 입자 발생 및 잔류물 효과적으로 감소
- 클린룸 공정 환경에 적합
Product Highlights
1. 초고순도 – 금속 오염 제로 SiO₂ 순도 ≥ 99.99%, 프리미엄 등급 최대 99.995% 극도로 낮은 금속 이온 함량 (Na/K/Fe 등)< 1ppm) 고온에서 침전, 휘발 또는 입자 방출 없음 웨이퍼 수율의 첫 번째 방어선 – 금속 오염은 직접적으로 장치 고장을 유발합니다. 2. 극한 내열성 – 광범위한 공정 호환성 연속 사용 온도 1200°C, 단시간 동안 더 높음 연화점 약 1700°C – 고온에서 연화 또는 변형 없음 주요 고온 공정과 호환: 확산, 산화, 어닐링, LPCVD 3. 정밀 가공 슬롯 – 정확하고 안정...
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