Một mảnh hình thành ống phẳng thạch anh cực cao độ tinh khiết không ô nhiễm Kháng nhiệt độ cao cho đường ống khí bán dẫn

1. Chế tạo nguyên khối – Niêm phong tin cậy

• Mặt bích và thân ống được chế tạo nguyên khối hoặc hàn chính xác – không có rủi ro rò rỉ mối hàn
• Mặt đầu được mài chính xác với độ phẳng cao và bề mặt nhẵn
• Hiệu suất niêm phong chân không tuyệt vời với vòng O-ring / gioăng
• Đáp ứng yêu cầu kín khí chân không cao và áp suất dương

2. Độ tinh khiết siêu cao – Không nhiễm bẩn

• Độ tinh khiết SiO₂ ≥ 99,99%, các loại cao cấp lên đến 99,995%
• Không bị hóa thủy tinh, bay hơi hoặc bong tróc hạt ở nhiệt độ cao
• Không nhiễm kim loại trong các đường khí quy trình bán dẫn
• Đảm bảo năng suất quy trình wafer / thiết bị

3. Chịu nhiệt cực cao cho các quy trình khắc nghiệt

• Nhiệt độ hoạt động dài hạn 1100°C – 1200°C, nhiệt độ ngắn hạn lên đến 1400°C+
• Khu vực mặt bích chịu được nhiệt độ tương đương thân ống – không có điểm yếu
• Tương thích với lò khuếch tán, CVD, epitaxy và các quy trình nhiệt độ cao khác

4. Chịu sốc nhiệt – Chống nứt mạnh mẽ

• Hệ số giãn nở nhiệt cực thấp (5,5×10⁻⁷/°C)
• Không bị nứt hoặc biến dạng dưới các chu kỳ gia nhiệt và làm mát lặp đi lặp lại
• Ứng suất nhiệt thấp tại mối nối mặt bích-ống – tuổi thọ dài

5. Chịu ăn mòn mạnh – Trơ hóa học

• Chống lại axit mạnh (trừ HF) và nhiều loại khí quy trình ăn mòn
• Không phản ứng với clo, halogenua, oxy, v.v. ở nhiệt độ cao
• Chống xói mòn và bám cặn – hiệu suất ổn định dài hạn

6. Kích thước chính xác – Khả năng lắp đặt tuyệt vời

• Kiểm soát chặt chẽ đường kính ngoài mặt bích, khoảng cách lỗ bu lông và độ phẳng mặt đầu
• Dung sai chính xác về đường kính ngoài ống, độ dày thành và chiều dài
• Căn chỉnh và lắp đặt nhanh chóng với mặt bích kim loại và vòng đệm tiêu chuẩn
• Hỗ trợ sản xuất tùy chỉnh theo bản vẽ thiết bị

7. Thông số kỹ thuật đầy đủ – Tùy chỉnh sâu

• Các loại mặt bích: mặt bích phẳng, mặt bích KF, mặt bích CF, mặt bích hình dạng tùy chỉnh
• Đường kính ống: φ10mm – φ300mm (lớn hơn theo yêu cầu)
• Chiều dài: tùy chỉnh theo yêu cầu, lên đến 3 mét hoặc hơn
• Cấu trúc: mặt bích một đầu, mặt bích hai đầu, mặt bích + bộ giảm tốc, mặt bích + nắp bịt
• Xử lý: mài mặt đầu, đánh bóng, vát mép, miệng ống được đánh bóng bằng lửa