Tubo de brida de cuarzo de una sola pieza de alta pureza cero contaminación resistente a altas temperaturas para líneas de gas de semiconductores

1. Formación de una sola pieza

• Cuerpo de brida y tubo formado en una sola pieza o soldado con precisión
• Caras extremas de molienda de precisión con una gran planitud y un acabado liso
• Excelente funcionamiento de sellado al vacío con anillos / juntas O
• Cumple con los requisitos de estanqueidad del gas a gran vacío y presión positiva

2. Ultra-Alta pureza Cero contaminación

• SiO2 de pureza ≥ 99,99%, grados superiores hasta 99,995%
• No hay desvitrificación, volatilización o derramamiento de partículas a altas temperaturas
• Cero contaminación por metales en las líneas de gas de los procesos de semiconductores
• Proceso de salvaguarda de la wafer / dispositivo de rendimiento

3Resistencia a calor extrema para procesos exigentes

• Temperatura de funcionamiento a largo plazo 1100°C ∼ 1200°C, a corto plazo hasta 1400°C+
• El área de la brida soporta las mismas temperaturas que el cuerpo del tubo no hay puntos débiles
• Compatibles con hornos de difusión, CVD, epitaxia y otros procesos de alta temperatura

4. Resistencia a los golpes térmicos fuerte resistencia a las grietas

• Coeficiente de expansión térmica muy bajo (5.5×10−7/°C)
• No se producen grietas ni deformaciones en ciclos de calentamiento y enfriamiento repetidos
• Baja tensión térmica en la unión de la brida con el tubo larga vida útil

5. Fuerte resistencia a la corrosión

• Resiste ácidos fuertes (excepto HF) y diversos gases de proceso corrosivos
• No hay reacción con cloro, halogenuros, oxígeno, etc. a altas temperaturas
• Resistencia a la erosión y a la deposición Performance estable a largo plazo

6- Dimensiones precisas - Excelente compatibilidad de instalación

• Control estricto de la OD de la brida, el espacio entre los orificios de los tornillos y la planitud de la cara del extremo
• Tolerancias exactas en el tubo OD, espesor de pared y longitud
• Alineación e instalación rápidas con bridas y sellos metálicos estándar
• Fabricación a medida con apoyo de los dibujos del equipo

7. Especificaciones completas ️ Personalización profunda

• Tipo de brida: brida plana, brida KF, brida CF, brida de forma personalizada
• Diámetro del tubo: φ10 mm φ300 mm (más grande disponible bajo petición)
• Largo: personalizable según sea necesario, hasta 3 metros o más
• Construcciones: brida de extremo único, brida de extremo doble, brida + reductor, brida + tapa de extremo
• Procesamiento: rectificación, pulido, chanfrado de las caras finales, aberturas pulidas a fuego