Eendelige Gevormde Kwartsflensbuis Ultrahoge Zuiverheid Nul Contaminatie Hoge Temperatuur Bestendig voor Halfgeleider Gasleidingen

1. Eénstuksvorming – Betrouwbare afdichting

• Flens en buislichaam uit één stuk gevormd of precisiegelast – geen risico op lekkage van lasnaden
• Precisiegeslepen eindvlakken met hoge vlakheid en gladde afwerking
• Uitstekende vacuümafdichtingsprestaties met O-ringen / pakkingen
• Voldoet aan eisen voor hoge vacuüm- en positieve druk gasdichtheid

2. Ultrahoge zuiverheid – Nul contaminatie

• SiO₂ zuiverheid ≥ 99,99%, premium kwaliteiten tot 99,995%
• Geen devitrificatie, vervluchtiging of deeltjesafscheiding bij hoge temperaturen
• Nul metaalcontaminatie in procesgasaansluitingen voor halfgeleiders
• Beschermt de opbrengst van wafer / apparaatprocessen

3. Extreme hittebestendigheid voor veeleisende processen

• Langdurige servicetemperatuur 1100°C – 1200°C, kortstondig tot 1400°C+
• Flensgebied weerstaat dezelfde temperaturen als het buislichaam – geen zwakke punten
• Compatibel met diffusieovens, CVD, epitaxie en andere processen bij hoge temperaturen

4. Thermische schokbestendig – Sterke scheurweerstand

• Ultra-lage thermische uitzettingscoëfficiënt (5,5×10⁻⁷/°C)
• Geen scheuren of vervorming onder herhaalde verwarmings- en koelcycli
• Lage thermische spanning bij de flens-buisverbinding – lange levensduur

5. Sterke corrosiebestendigheid – Chemische inertheid

• Weerstaat sterke zuren (behalve HF) en diverse corrosieve procesgassen
• Geen reactie met chloor, halogeniden, zuurstof etc. bij hoge temperaturen
• Weerstaat erosie en afzetting – stabiele prestaties op lange termijn

6. Nauwkeurige afmetingen – Uitstekende installatiecompatibiliteit

• Strikte controle van flens OD, boutgatafstand en vlakheid van het eindvlak
• Nauwkeurige toleranties op buis OD, wanddikte en lengte
• Snelle uitlijning en installatie met standaard metalen flenzen en afdichtingen
• Maatwerkproductie ondersteund volgens apparatuurtekeningen

7. Volledige specificaties – Diepgaande aanpassing

• Flens types: platte flens, KF flens, CF flens, speciaal gevormde flens
• Buisdiameter: φ10mm – φ300mm (groter op aanvraag beschikbaar)
• Lengte: aanpasbaar naar behoefte, tot 3 meter of meer
• Structuren: enkelzijdige flens, dubbelzijdige flens, flens + reducer, flens + eindkap
• Verwerking: slijpen van eindvlakken, polijsten, afschuinen, vlamgepolijste openingen