Tabung Flensa Kuarsa Bentuk Satu Bagian Kemurnian Ultra Tinggi Kontaminasi Nol Tahan Suhu Tinggi untuk Jalur Gas Semikonduktor

1. Membentuk Satu Bagian Pengecatan yang dapat diandalkan

• Flange dan tubuh tabung terbentuk dalam satu bagian atau dilas presisi
• Permukaan ujung yang dihancurkan dengan presisi dengan ketebalan tinggi dan akhir yang halus
• Kinerja penyegelan vakum yang sangat baik dengan O-ring / gasket
• Memenuhi persyaratan kekakuan gas vakum tinggi dan tekanan positif

2. Ultra-High Purity Zero Kontaminasi

• SiO2 kemurnian ≥ 99,99%, kelas premium hingga 99,995%
• Tidak ada devitrifikasi, penguapan atau pelepasan partikel pada suhu tinggi
• Tidak ada kontaminasi logam di saluran gas proses semikonduktor
• Perlindungan hasil proses wafer / perangkat

3. Ketahanan panas yang ekstrim untuk proses yang menuntut

• Suhu layanan jangka panjang 1100°C ∼ 1200°C, jangka pendek hingga 1400°C+
• Flange area menahan suhu yang sama dengan tubuh tabung tidak ada titik lemah
• Kompatibel dengan tungku difusi, CVD, epitaksi dan proses suhu tinggi lainnya

4. Termal Shock Resistant Strong Crack Resistant

• Koefisien ekspansi termal yang sangat rendah (5.5×10−7/°C)
• Tidak ada retakan atau deformasi dalam siklus pemanasan dan pendinginan berulang
• Tekanan termal rendah pada sendi flange-to-tube long service life

5. Ketahanan korosi yang kuat Inersia kimia

• Tahan terhadap asam kuat (kecuali HF) dan berbagai gas proses korosif
• Tidak ada reaksi dengan klorin, halida, oksigen dll pada suhu tinggi
• Tahan terhadap erosi dan deposisi

6. Dimensi yang tepat ️ Kompatibilitas instalasi yang sangat baik

• Kontrol ketat dari flange OD, jarak bolt-lubang dan permukaan ujung datar
• Toleransi yang tepat pada OD tabung, ketebalan dinding dan panjang
• Perataan dan pemasangan cepat dengan flanges dan segel logam standar
• Manufaktur khusus yang didukung oleh gambar peralatan

7. Spesifikasi Lengkap Deep Customization

• Jenis flange: flange datar, flange KF, flange CF, flange berbentuk khusus
• Diameter tabung: φ10mm φ300mm (lebih besar tersedia atas permintaan)
• Panjang: dapat disesuaikan sesuai kebutuhan, hingga 3 meter atau lebih
• Struktur: flange ujung tunggal, flange ujung ganda, flange + pengurang, flange + tutup ujung
• Pengolahan: penggilingan permukaan akhir, polishing, chamfering, bukaan yang dipoles api