Σωλήνας Φλάντζας Χαλαζία Μονοκόμματος, Εξαιρετικά Υψηλής Καθαρότητας, Μηδενική Μόλυνση, Ανθεκτικός σε Υψηλές Θερμοκρασίες για Γραμμές Αερίου Ημιαγωγών

1. Μονότμημα Αξιόπιστη σφραγίδα

• Το σώμα φλάντζης και σωλήνα σχηματίζεται σε ένα κομμάτι ή συγκολλημένο με υψηλή ακρίβεια
• Τελικές επιφάνειες με ακρίβεια με υψηλή επίπεδεια και ομαλό φινίρισμα
• Εξαιρετική απόδοση σφράγισης υπό κενό με δαχτυλίδια / συμπίεση O
• Συμμορφώνεται με τις απαιτήσεις στεγανότητας αερίου σε υψηλό κενό και σε θετική πίεση

2Υψηλή καθαρότητα μηδενική μόλυνση

• Καθαρότητα SiO2 ≥ 99,99%, υψηλής ποιότητας έως 99,995%
• Απαγορεύεται η αποβιτρικοποίηση, η πτητικότητα ή η αποβολή σωματιδίων σε υψηλές θερμοκρασίες
• Μηδενική μόλυνση από μέταλλα σε αγωγούς αερίου ημιαγωγών
• Προστασία της απόδοσης της διαδικασίας πλάκας / συσκευής

3Εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα για απαιτητικές διαδικασίες

• Διάρκεια λειτουργίας θερμοκρασίας 1100°C ∼ 1200°C, βραχυπρόθεσμη έως 1400°C+
• Το πεδίο φλάντζης αντέχει τις ίδιες θερμοκρασίες με το σώμα του σωλήνα
• Συμβατό με φούρνους διάχυσης, CVD, επιταξία και άλλες διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας

4. Ανθεκτικός σε θερμικά σοκ

• Υπερ-χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής (5,5×10−7/°C)
• Καμία ρωγμή ή παραμόρφωση σε επαναλαμβανόμενους κύκλους θέρμανσης και ψύξης
• Χαμηλή θερμική πίεση στη σύνδεση φλάντζας-σωλήνα ∙ μακρά διάρκεια ζωής

5. Ισχυρή αντοχή στη διάβρωση Χημική αδράνεια

• Αντιστέκεται σε ισχυρά οξέα (εκτός από το HF) και διάφορα διαβρωτικά αέρια διαδικασίας
• Καμία αντίδραση με χλώριο, αλογονίδια, οξυγόνο κλπ. σε υψηλές θερμοκρασίες
• Αντιστέκεται στην διάβρωση και την εναπόθεση

6- Ακριβείς διαστάσεις - Εξαιρετική συμβατότητα εγκατάστασης

• Απαραίτητος έλεγχος της οδικής διαστολής φλάντζης, της διασταύρωσης τρύπας βρόχου και της επίπεδης επιφάνειας της άκρης
• Ακριβείς ανοχές για την οριακή τιμή του σωλήνα, το πάχος του τοίχου και το μήκος
• Γρήγορη ευθυγράμμιση και εγκατάσταση με τυποποιημένες μεταλλικές φλάντζες και σφραγίδες
• Προσαρμοσμένη κατασκευή με υποστήριξη σχεδίων εξοπλισμού

7. Πλήρεις προδιαγραφές ️ Βαθιά προσαρμογή

• Τύποι φλάντζης: επίπεδη φλάντζη, φλάντζη KF, φλάντζη CF, φλάντζη με ειδική μορφή
• Διάμετρος σωλήνα: φ10mm φ300mm (μεγαλύτερο διαθέσιμο κατόπιν αιτήματος)
• Διάστημα: προσαρμόζεται ανάλογα με τις ανάγκες, έως 3 μέτρα ή περισσότερο
• Διαρθρώσεις: μονοτελής φλάντζης, διτελής φλάντζης, φλάντζης + μειωτή, φλάντζης + τερματικό καπάκι
• Επεξεργασία: άλεση, γυαλισμός, χτενίσματα, γυαλισμοί με φλόγα