Einstückig geformtes Quarzflanschrohr mit hoher Reinheit, keine Kontamination, hochtemperaturbeständig für Halbleitergasleitungen
Produktdetails
| Material: | 99,99 % Quarzglas | Flanschtyp: | Flach, KF, CF, kundenspezifisch |
|---|---|---|---|
| Rohrdurchmesser: | φ10mm - φ300mm | Maximale Länge: | 3 Meter+ |
| Struktur: | Einzel-/Doppelendflansch | Arbeitstemperatur: | Bis zu 1400°C |
| Versiegelung: | O-Ring / Dichtungsvakuum | Anwendung: | Halbleiter-Gasleitungen |
| Hervorheben |
Quarzflanschrohr aus einem Stück,Ultra-hohe Reinheit,keine Kontamination |
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Produkt-Beschreibung
1. Einteilige Formgebung – Zuverlässige Abdichtung
- Flansch und Rohr in einem Stück geformt oder präzisionsgeschweißt – kein Risiko von Leckagen an Schweißnähten
- Präzisionsgeschliffene Stirnflächen mit hoher Ebenheit und glatter Oberfläche
- Hervorragende Vakuumdichtleistung mit O-Ringen / Dichtungen
- Erfüllt Anforderungen an Hochvakuum- und Überdruck-Gasdichtheit
2. Ultrahohe Reinheit – Null Kontamination
- SiO₂-Reinheit ≥ 99,99 %, Premium-Qualitäten bis 99,995 %
- Keine Entglasung, Verdampfung oder Partikelabscheidung bei hohen Temperaturen
- Null Metallkontamination in Prozessgasleitungen für Halbleiter
- Schützt die Ausbeute von Wafer-/Geräteprozessen
3. Extreme Hitzebeständigkeit für anspruchsvolle Prozesse
- Langzeit-Betriebstemperatur 1100 °C – 1200 °C, kurzzeitig bis 1400 °C+
- Flanschbereich hält den gleichen Temperaturen wie der Rohrabschnitt stand – keine Schwachstellen
- Kompatibel mit Diffusionsöfen, CVD, Epitaxie und anderen Hochtemperaturprozessen
4. Thermoschockbeständig – Hohe Rissfestigkeit
- Ultra-niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient (5,5×10⁻⁷/°C)
- Kein Reißen oder Verformen bei wiederholten Heiz- und Kühlzyklen
- Geringe thermische Belastung an der Flansch-Rohr-Verbindung – lange Lebensdauer
5. Hohe Korrosionsbeständigkeit – Chemische Inertheit
- Beständig gegen starke Säuren (außer HF) und verschiedene korrosive Prozessgase
- Keine Reaktion mit Chlor, Halogeniden, Sauerstoff usw. bei hohen Temperaturen
- Beständig gegen Erosion und Ablagerungen – stabile Langzeitperformance
6. Präzise Abmessungen – Hervorragende Installationskompatibilität
- Strenge Kontrolle von Flansch-Außendurchmesser, Lochkreis und Ebenheit der Stirnfläche
- Präzise Toleranzen bei Rohr-Außendurchmesser, Wandstärke und Länge
- Schnelle Ausrichtung und Installation mit Standard-Metallflanschen und -dichtungen
- Kundenspezifische Fertigung gemäß Ausrüstungszeichnungen unterstützt
7. Vollständige Spezifikationen – Tiefgreifende Anpassung
- Flanschtypen: Flachflansch, KF-Flansch, CF-Flansch, speziell geformter Flansch
- Rohrdurchmesser: φ10mm – φ300mm (größere auf Anfrage erhältlich)
- Länge: nach Bedarf anpassbar, bis zu 3 Meter oder mehr
- Strukturen: einseitiger Flansch, beidseitiger Flansch, Flansch + Reduzierstück, Flansch + Endkappe
- Bearbeitung: Schleifen der Stirnfläche, Polieren, Anfasen, flammpolierte Öffnungen
Product Highlights
1. Einteilige Formgebung – Zuverlässige Abdichtung Flansch und Rohr in einem Stück geformt oder präzisionsgeschweißt – kein Risiko von Leckagen an Schweißnähten Präzisionsgeschliffene Stirnflächen mit hoher Ebenheit und glatter Oberfläche Hervorragende Vakuumdichtleistung mit O-Ringen / Dichtungen ...
Doppelwandiges Quarzglasrohr, hitzebeständig, polierte Oberfläche, Wandstärke
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