Tubes à flange de quartz en une seule pièce, ultra haute pureté, zéro contamination, résistantes aux températures élevées pour les conduites à gaz à semi-conducteurs

1. Formage en une seule pièce Sécurisation fiable

• La flange et le corps du tube sont formés en une seule pièce ou soudés de précision
• Faces d'extrémité moulées de précision avec une grande planéité et une finition lisse
• Excellentes performances d'étanchéité sous vide avec O-rings / joints
• Répond aux exigences en matière d'étanchéité au gaz à haute pression et sous vide

2. Ultra-haute pureté Zéro contamination

• SiO2 pureté ≥ 99,99%, matières premières jusqu'à 99,995%
• Aucune dévitrification, volatilization ou émission de particules à haute température
• Zéro contamination métallique dans les conduites de gaz de procédés à semi-conducteurs
• Protège le rendement du processus de fabrication des plaquettes / dispositifs

3Résistance à la chaleur extrême pour les processus exigeants

• Température de fonctionnement à long terme 1100°C ∼ 1200°C, à court terme jusqu'à 1400°C+
• La surface de la bride résiste aux mêmes températures que le corps du tube
• Compatibles avec les fours à diffusion, la CVD, l'épitaxie et autres procédés à haute température

4. Résistant aux chocs thermiques

• Coefficient de dilatation thermique extrêmement faible (5,5 × 10−7/°C)
• Aucune fissuration ou déformation lors de cycles répétés de chauffage et de refroidissement
• Faible contrainte thermique au niveau de l'articulation entre la bride et le tube

5. Résistance forte à la corrosion Inerté chimique

• Résistant aux acides forts (sauf HF) et à divers gaz de procédés corrosifs
• Aucune réaction avec le chlore, les halogénures, l'oxygène, etc. à haute température
• Résistant à l'érosion et aux dépôts

6- Dimensions précises - Excellente compatibilité d'installation

• Contrôle strict de l'OD de la bride, de l'espacement entre les trous et de la planéité de la face finale
• Tolérances précises sur l'OD du tube, l'épaisseur et la longueur de la paroi
• Alignement et installation rapides avec des brides et joints métalliques standard
• Fabrication personnalisée soutenue par dessins d'équipement

7. Spécifications complètes ️ Personnalisation approfondie

• Type de bride: bride plate, bride KF, bride CF, bride sur mesure
• Diamètre du tube: φ10 mm φ300 mm (un diamètre plus grand est disponible sur demande)
• Longueur: personnalisable selon les besoins, jusqu'à 3 mètres ou plus
• Structures: bride à une extrémité, bride à double extrémité, bride + réducteur, bride + capuchon
• Traitement: broyage, polissage, déchiquetage, ouvertures polies à la flamme