Tubo de flange de quartzo de uma peça de forma ultra alta pureza zero contaminação resistente a altas temperaturas para linhas de gás semicondutores

1. Formação em Peça Única – Vedação Confiável

• Flange e corpo do tubo formados em uma peça ou soldagem de precisão – sem risco de vazamento na junta de solda
• Faces de extremidade retificadas com precisão, com alta planicidade e acabamento liso
• Excelente desempenho de vedação a vácuo com O-rings / juntas
• Atende aos requisitos de estanqueidade a gases de alto vácuo e pressão positiva

2. Ultra-Alta Pureza – Contaminação Zero

• Pureza de SiO₂ ≥ 99,99%, graus premium até 99,995%
• Sem desvitrificação, volatilização ou desprendimento de partículas em altas temperaturas
• Zero contaminação metálica em linhas de gás de processo de semicondutores
• Salvaguarda o rendimento do processo de wafers / dispositivos

3. Resistência Extrema ao Calor para Processos Exigentes

• Temperatura de serviço a longo prazo 1100°C – 1200°C, curto prazo até 1400°C+
• A área da flange suporta as mesmas temperaturas que o corpo do tubo – sem pontos fracos
• Compatível com fornos de difusão, CVD, epitaxia e outros processos de alta temperatura

4. Resistente a Choque Térmico – Forte Resistência a Rachaduras

• Coeficiente de expansão térmica ultrabaixo (5,5×10⁻⁷/°C)
• Sem rachaduras ou deformações sob ciclos repetidos de aquecimento e resfriamento
• Baixo estresse térmico na junta flange-tubo – longa vida útil

5. Forte Resistência à Corrosão – Inércia Química

• Resiste a ácidos fortes (exceto HF) e vários gases de processo corrosivos
• Sem reação com cloro, haletos, oxigênio etc. em altas temperaturas
• Resiste à erosão e deposição – desempenho estável a longo prazo

6. Dimensões Precisas – Excelente Compatibilidade de Instalação

• Controle rigoroso do diâmetro externo da flange, espaçamento dos furos dos parafusos e planicidade da face de extremidade
• Tolerâncias precisas no diâmetro externo do tubo, espessura da parede e comprimento
• Alinhamento e instalação rápidos com flanges e vedações metálicas padrão
• Fabricação personalizada suportada de acordo com os desenhos do equipamento

7. Especificações Completas – Personalização Profunda

• Tipos de flange: flange plana, flange KF, flange CF, flange de formato personalizado
• Diâmetro do tubo: φ10mm – φ300mm (maiores disponíveis mediante solicitação)
• Comprimento: personalizável conforme necessário, até 3 metros ou mais
• Estruturas: flange de extremidade única, flange de extremidade dupla, flange + redutor, flange + tampa de extremidade
• Processamento: retificação da face de extremidade, polimento, chanfro, aberturas polidas por chama