製品詳細
| 材料: | 99.99% 溶融石英 | フランジタイプ: | フラット、KF、CF、カスタム |
|---|---|---|---|
| チューブ径: | φ10mm～φ300mm | 最大長さ: | 3メートル以上 |
| 構造: | 片端/両端フランジ | 使用温度: | 1400°Cまで |
| シーリング: | Oリング/ガスケットのバキューム | 応用: | 半導体ガスライン |
| ハイライト |
一片形クォーツフレンズチューブ,超高純度ゼロ汚染クォーツフレンズチューブ,半導体ガス線用高温耐性クォーツフレンズ管 |
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製品の説明
1. 一部型 信頼性の高い密封
- 精密溶接された,片片に形状されたフレンズとチューブボディ
- 高平面性と滑らかな仕上げの精密磨削の端面
- Oリング/ガスケットの真空密封性能が優れている
- 高真空および正圧のガス密度要件を満たす
2超高純度 ゼロ汚染
- SiO2純度 ≥99.99%,高級品種最大99.995%
- 高温でデビトリ化,揮発,粒子の流出がない
- 半導体プロセスガス管の金属汚染はゼロ
- 保護 ウェーバー/デバイス プロセス 生産
3. 要求の高いプロセスのための極端な熱耐性
- 長期使用温度 1100°C ∼ 1200°C 短期使用温度 1400°C+
- 管体と同じ温度に耐える 弱点がない
- 拡散炉,CVD,エピタキシー,その他の高温プロセスと互換性がある
4熱ショック耐性 強いクラック耐性
- 超低温膨張係数 (5.5×10−7/°C)
- 繰り返しの加熱・冷却サイクルでは裂け目や変形がない
- フレンズとチューブの関節における低熱圧 長期使用寿命
5耐腐食性 化学的惰性
- 強い酸 (HFを除く) と様々な腐食性プロセスガスに耐える
- 高温で塩素,ハロイド,酸素などと反応しない
- 侵食や堆積に耐える 安定した長期性能
6精密な寸法 優れた設置互換性
- フランジ OD,ボルト穴間隔,端面の平らさを厳格に制御する
- 管のOD,壁厚み,長さの正確な許容量
- 標準的な金属フレンズとシールで迅速なアライナメントと設置
- 機器図による自社製のサポート
7完全な仕様 深いカスタマイズ
- フランジの種類:フラットフランジ,KFフランジ,CFフランジ,カスタム形フランジ
- 管の直径: φ10mm 〜 φ300mm (要望により大きい可)
- 長さ: 必要に応じて調整可能で,最大3メートル以上
- 構造:単端フレンズ,双端フレンズ,フレンズ+減速器,フレンズ+端蓋
- 加工:端面の磨き,磨き,カムファリング,炎で磨いた開口
Product Highlights
1. 一部型 信頼性の高い密封 精密溶接された,片片に形状されたフレンズとチューブボディ 高平面性と滑らかな仕上げの精密磨削の端面 Oリング/ガスケットの真空密封性能が優れている 高真空および正圧のガス密度要件を満たす 2超高純度 ゼロ汚染 SiO2純度 ≥99.99%,高級品種最大99.995% 高温でデビトリ化,揮発,粒子の流出がない 半導体プロセスガス管の金属汚染はゼロ 保護 ウェーバー/デバイス プロセス 生産 3. 要求の高いプロセスのための極端な熱耐性 長期使用温度 1100°C ∼ 1200°C 短期使用温度 1400°C+ 管体と同じ温度に耐える 弱点がない 拡散炉,CVD,エ...
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