Tubo a flangia di quarzo a forma di un pezzo di altissima purezza zero contaminazione resistente alle alte temperature per linee di gas a semiconduttori

1. Formatura Monopezzo – Tenuta Affidabile

• Flangia e corpo del tubo formati in un unico pezzo o saldati di precisione – nessun rischio di perdite dalla saldatura
• Piani di appoggio rettificati di precisione con elevata planarità e finitura liscia
• Eccellenti prestazioni di tenuta sottovuoto con O-ring / guarnizioni
• Soddisfa i requisiti di tenuta ai gas per alto vuoto e pressione positiva

2. Purezza Ultra-Elevata – Contaminazione Zero

• Purezza SiO₂ ≥ 99,99%, gradi premium fino al 99,995%
• Nessuna devetrificazione, volatilizzazione o rilascio di particelle ad alte temperature
• Zero contaminazione metallica nelle linee di gas di processo per semiconduttori
• Salvaguarda la resa del processo wafer / dispositivo

3. Resistenza Estrema al Calore per Processi Esigenti

• Temperatura di servizio a lungo termine 1100°C – 1200°C, a breve termine fino a 1400°C+
• L'area della flangia resiste alle stesse temperature del corpo del tubo – nessun punto debole
• Compatibile con forni a diffusione, CVD, epitassia e altri processi ad alta temperatura

4. Resistente agli Shock Termici – Elevata Resistenza alle Crepe

• Coefficiente di espansione termica ultra-basso (5,5×10⁻⁷/°C)
• Nessuna crepa o deformazione sotto cicli ripetuti di riscaldamento e raffreddamento
• Basso stress termico all'accoppiamento flangia-tubo – lunga durata di servizio

5. Elevata Resistenza alla Corrosione – Inerzia Chimica

• Resiste ad acidi forti (eccetto HF) e vari gas di processo corrosivi
• Nessuna reazione con cloro, alogenuri, ossigeno ecc. ad alte temperature
• Resiste all'erosione e alla deposizione – prestazioni stabili a lungo termine

6. Dimensioni Precise – Eccellente Compatibilità di Installazione

• Controllo rigoroso del diametro esterno della flangia, della spaziatura dei fori dei bulloni e della planarità del piano di appoggio
• Tolleranze precise sul diametro esterno del tubo, spessore della parete e lunghezza
• Allineamento e installazione rapidi con flange e guarnizioni metalliche standard
• Produzione personalizzata supportata secondo disegni dell'attrezzatura

7. Specifiche Complete – Profonda Personalizzazione

• Tipi di flangia: flangia piana, flangia KF, flangia CF, flangia di forma personalizzata
• Diametro del tubo: φ10mm – φ300mm (maggiori disponibili su richiesta)
• Lunghezza: personalizzabile secondo necessità, fino a 3 metri o più
• Strutture: flangia a un'estremità, flangia a doppia estremità, flangia + riduttore, flangia + tappo terminale
• Lavorazioni: rettifica del piano di appoggio, lucidatura, smussatura, aperture lucidate a fiamma