단조각 모양의 쿼츠 플랜지 튜브 초고 순수성, 오염이 없음, 반도체 가스 라인을 위한 고온 저항성
제품 상세정보
| 재료: | 99.99% 융합 석영 | 플랜지 종류: | 플랫, KF, CF, 커스텀 |
|---|---|---|---|
| 튜브 직경: | Ø10mm - Ø300mm | 최대 길이: | 3미터 이상 |
| 구조: | 단일/이중 단부 플랜지 | 작동 온도: | 최대 1400°C |
| 씰링: | O-링 / 개스킷 진공 | 애플리케이션: | 반도체 가스 라인 |
| 강조하다 |
1 조각 모양의 쿼츠 플랜지 튜브,초고 순수성,오염이 없는 쿼츠 플랜지 튜브 |
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제품 설명
1. 일 조각 모양 ✓ 신뢰성 있는 밀폐
- 한 조각으로 형성 된 플랜지 및 튜브 보스 또는 정밀 용접
- 높은 평면성 및 부드러운 완성도를 갖춘 정밀 밀링 끝면
- 오 링 / 가스켓으로 우수한 진공 밀폐 성능
- 고 진공 및 압력 가스 밀착성 요구 사항을 충족합니다.
2초고 순수성 0 오염
- SiO2 순수 ≥ 99.99%, 최고 순수 99,995%
- 고온에서 비트리화, 휘발성 또는 입자 분해가 없습니다.
- 반도체 공정 가스 라인에서 금속 오염이 0
- 보호 웨이퍼 / 장치 프로세스 수익
3까다로운 프로세스에 대한 극심한 열 저항
- 장시간 사용 온도 1100°C ~ 1200°C, 단기 사용 온도 1400°C+
- 플랜지 영역은 튜브 몸과 같은 온도를 견딜 수 있습니다
- 디프루션 오븐, CVD, 에피택시 및 다른 고온 공정과 호환됩니다.
4. 열 충격 저항성 ∙ 강한 균열 저항성
- 극저온 팽창 계수 (5.5×10−7/°C)
- 반복된 난방 및 냉각 주기로 균열 또는 변형이 없습니다.
- 플랜지와 튜브 관절의 낮은 열 스트레스
5강한 경식 저항성 화학적 무력성
- 강한 산 (HF를 제외한) 과 각종 부식성 공정 기체에 저항합니다.
- 고온에서 염소, 하로이드, 산소 등과 반응하지 않습니다.
- 침식 및 퇴적에 저항합니다
6정밀한 차원 우수한 설치 호환
- 플랜지 OD, 볼트 구멍 간격 및 끝면 평면성의 엄격한 통제
- 튜브 OD, 벽 두께 및 길이에 대한 정확한 허용도
- 표준 금속 플랜지 및 밀폐로 빠른 정렬 및 설치
- 장비 도면에 따른 맞춤 제조 지원
7전체 사양 딥 커스터마이징
- 플랜지 종류: 평면 플랜지, KF 플랜지, CF 플랜지, 맞춤형 플랜지
- 튜브 지름: φ10mm ∼ φ300mm (대부분은 요청에 따라 사용할 수 있습니다)
- 길이: 필요에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다. 최대 3 미터 이상
- 구조: 단일 끝 플랜지, 쌍 끝 플랜지, 플랜지 + 감소기, 플랜지 + 끝 캡
- 가공: 끝면 깎는, 닦는, 껍질 닦는, 불로 닦은 구멍
Product Highlights
1. 일 조각 모양 ✓ 신뢰성 있는 밀폐 한 조각으로 형성 된 플랜지 및 튜브 보스 또는 정밀 용접 높은 평면성 및 부드러운 완성도를 갖춘 정밀 밀링 끝면 오 링 / 가스켓으로 우수한 진공 밀폐 성능 고 진공 및 압력 가스 밀착성 요구 사항을 충족합니다. 2초고 순수성 0 오염 SiO2 순수 ≥ 99.99%, 최고 순수 99,995% 고온에서 비트리화, 휘발성 또는 입자 분해가 없습니다. 반도체 공정 가스 라인에서 금속 오염이 0 보호 웨이퍼 / 장치 프로세스 수익 3까다로운 프로세스에 대한 극심한 열 저항 장시간 사용 온도 ...
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