Цельноформованная кварцевая фланцевая трубка сверхвысокой чистоты, нулевое загрязнение, термостойкая для газопроводов полупроводниковой промышленности

1. Формирование из одного изделия

• Фланц и корпус труб, сформированные в одном куске или сварные с высокой точностью, без риска утечки шва
• Концовые поверхности с высокой плоскостью и гладкой отделкой
• Отличная вакуумная уплотнительная производительность с O-кольцами / уплотнениями
• Удовлетворяет требованиям газонепроницаемости при высоком вакууме и положительном давлении

2Ультра высокая чистота

• Чистота SiO2 ≥ 99,99%, высококачественные сорта до 99,995%
• Никакого девитрификации, испарения или выброса частиц при высоких температурах
• Никакое загрязнение металлами в газопроводах полупроводниковых процессов
• Защита производительности процесса пластинки / устройства

3. Экстремальная теплостойкость для требовательных процессов

• Долгосрочная эксплуатационная температура 1100°C ∼ 1200°C, краткосрочная до 1400°C+
• Площадь фланца выдерживает те же температуры, что и корпус трубки
• Совместимы с диффузионными печами, СВД, эпитаксией и другими высокотемпературными процессами

4. Сопротивляемость тепловым ударам Прочность к трещинам

• Ультранизкий коэффициент теплового расширения (5,5×10−7/°C)
• Никаких трещин или деформаций при повторных циклах нагрева и охлаждения
• Низкое тепловое напряжение на соединении фланца-труба

5. Сильная коррозионная стойкость Химическая инертность

• Устойчив к сильным кислотам (кроме HF) и различным коррозионным газовым процессам
• Никакой реакции с хлором, галоидами, кислородом и т.д. при высоких температурах
• Устойчив к эрозии и осаждению

6. Точные размеры ∙ Отличная совместимость установки

• Строгий контроль над ОД фланца, расстоянием между отверстиями и плоскостью конечной поверхности
• Точные допустимые отклонения на ОД трубы, толщину стенки и длину
• Быстрое выравнивание и установка стандартными металлическими фланцами и уплотнениями
• Производство на заказ, поддерживаемое по чертежам оборудования

7. Полная спецификация

• Типы фланцев: плоские фланцы, фланцы KF, фланцы CF, фланцы на заказ
• Диаметр трубы: φ10mm φ300mm (больший доступен по запросу)
• Длина: настраивается по мере необходимости, до 3 метров и более
• Конструкции: однокончательный фланц, двукончательный фланц, фланц + редуктор, фланс + конечная крышка
• Обработка: шлифовка конечных поверхностей, полировка, растворение, огнеполированные отверстия