Tubo de cuarzo resistente a ácidos y álcalis TC para detección de temperatura de semiconductores

1. Ultra alta pureza Medida de la temperatura sin contaminación

• SiO2 de pureza ≥ 99,99%, grados superiores hasta 99,999%
• No hay desvitrificación, volatilización o derramamiento de partículas a altas temperaturas
• Nunca introduce contaminación metálica en la atmósfera del horno
• Una salvaguarda clave para el rendimiento de la oblea de semiconductores contaminación por impurezas puede desechar un lote entero de oblea

2Resistencia a calor extrema para procesos exigentes

• Temperatura de funcionamiento a largo plazo 1100°C ∼ 1200°C, a corto plazo hasta 1450°C
• Punto de ablandamiento aproximadamente 1700°C, muy superior a las envolturas de vidrio y metal ordinarias
• Es estructuralmente estable a altas temperaturas
• Compatibles con procesos de difusión, oxidación, recocido, CVD y otros procesos a altas temperaturas

3. Respuesta térmica rápida ️ Medición precisa y estable

• Pared delgada, alta densidad y buena conductividad térmica
• Respuesta térmica rápida con transmisión oportuna de señales de temperatura
• Baja porosidad, mínima deriva de señal, precisión de medición estable durante el uso a largo plazo
• Proporciona una base fiable para el control de la temperatura del proceso en circuito cerrado

4- Resistencia a la corrosión fuerte - Inercia química superior

• Resiste ácidos fuertes (excepto el ácido fluorhídrico), álcalis débiles y la mayoría de las atmósferas corrosivas
• No hay reacción con halógenos, cloro, oxígeno u otros gases de proceso a altas temperaturas
• Resiste eficazmente la erosión por gases de horno, polvo y materiales fundidos
• La vida útil de las envolturas de acero inoxidable y cerámica es mucho mayor

5. Resistente a los golpes térmicos No se agrieta bajo cambios rápidos de temperatura

• Coeficiente de expansión térmica muy bajo (5.5×10−7/°C)
• No hay grietas o fracturas bajo cambios bruscos de temperatura
• Apto para procesos por lotes con ciclos frecuentes de calentamiento y enfriamiento

6- Alto aislamiento eléctrico

• Excelente aislamiento eléctrico a altas temperaturas
• Elimina las interferencias de fugas entre los cables del termopar y de los cables al cuerpo del horno
• Asegura señales de medición limpias, seguras y fiables

7. Especificaciones completas ️ Personalización profunda

• Estructuras: tubo cerrado (un extremo sellado, estándar), tubo abierto, tubo de dos orificios
• Diámetro exterior: φ2 mm φ50 mm (seleccionado según las especificaciones del termoparejo)
• espesor de la pared: 0,5 mm 5 mm personalizable
• Largo: personalizable hasta 3 metros o más
• Procesamiento: extremos sellados pulidos a fuego, flanqueado, montaje de flanqueado, reducción de diámetro, glaseado
• Compatibilidad: se ajusta a K, S, R, B y otros tipos de termopares