製品詳細
| 材料: | 99.99% 溶融石英 | SIO2コンテンツ: | 99.99％-99.999％ |
|---|---|---|---|
| 使用温度: | 1100～1200℃、最大1450℃ | 外径: | φ2mm～φ50mm |
| 肉厚: | 0.5mm -5mm | 構造: | クローズドエンド、オープン、ツーボア |
| 熱電対の種類: | K、S、R、B | 応用: | 半導体温度センシング |
| ハイライト |
アシドアルカリ耐性クォーツTCチューブ,高純度クォーツTCチューブ,半導体温度感知クォーツTCチューブ |
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製品の説明
1. 超高純度 – ゼロコンタミネーション温度測定
- SiO₂純度 ≥ 99.99%、プレミアムグレードは最大99.999%
- 高温下での失透、揮発、粒子飛散なし
- 炉雰囲気への金属汚染を一切導入しない
- 半導体ウェハー収率の重要な保護策 – 不純物汚染はウェハーバッチ全体をスクラップする可能性がある
2. 過酷なプロセスに対応する極度の耐熱性
- 長期使用温度 1100℃ – 1200℃、短時間使用温度 最大1450℃
- 軟化点 約1700℃、一般的なガラスや金属シースよりもはるかに高い
- 高温下で構造的に安定 – 軟化や変形なし
- 拡散、酸化、アニーリング、CVDなどの高温プロセスと互換性あり
3. 高速熱応答 – 正確で安定した測定
- 薄壁、高密度、良好な熱伝導率
- 迅速な熱応答とタイムリーな温度信号伝送
- 低気孔率、最小限の信号ドリフト、長期使用における安定した測定精度
- クローズドループプロセス温度制御の信頼できる基盤を提供
4. 優れた耐食性 – 優れた化学的不活性
- 強酸（フッ化水素酸を除く）、弱アルカリ、ほとんどの腐食性雰囲気に対する耐性
- 高温下でのハロゲン、塩素、酸素、その他のプロセスガスとの反応なし
- 炉ガス、粉塵、溶融材料による浸食に効果的に耐える
- ステンレス鋼やセラミックシースをはるかに超える寿命
5. 熱衝撃耐性 – 急激な温度変化による割れなし
- 超低熱膨張係数 (5.5×10⁻⁷/℃)
- 急激な温度変化による割れや破損なし
- 頻繁な加熱・冷却サイクルを伴うバッチプロセスに適している
6. 高い電気絶縁性 – 電気的安全性
- 優れた高温電気絶縁性
- 熱電対線間および線材と炉本体間の漏洩干渉を排除
- クリーンで安全、信頼性の高い測定信号を保証
7. 完全な仕様 – 詳細なカスタマイズ
- 構造: 密閉管（片端シール、標準）、開放管、二穴管
- 外径: φ2mm – φ50mm（熱電対仕様に応じて選択）
- 壁厚: 0.5mm – 5mm カスタマイズ可能
- 長さ: 最大3メートル以上 カスタマイズ可能
- 加工: フレーム研磨シール端部、フランジ加工、フランジ取り付け、径縮小、つや消し
- 互換性: K、S、R、Bなどの熱電対タイプに対応
Product Highlights
1. 超高純度 – ゼロコンタミネーション温度測定 SiO₂純度 ≥ 99.99%、プレミアムグレードは最大99.999% 高温下での失透、揮発、粒子飛散なし 炉雰囲気への金属汚染を一切導入しない 半導体ウェハー収率の重要な保護策 – 不純物汚染はウェハーバッチ全体をスクラップする可能性がある 2. 過酷なプロセスに対応する極度の耐熱性 長期使用温度 1100℃ – 1200℃、短時間使用温度 最大1450℃ 軟化点 約1700℃、一般的なガラスや金属シースよりもはるかに高い 高温下で構造的に安定 – 軟化や変形なし 拡散、酸化、アニーリング、CVDなどの高温プロセスと互換性あり 3. 高速熱...
ツインチューブ クォーツガラスチューブ 溶融シリカ 耐熱 磨き表面 壁厚さ
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