Tubo TC di quarzo resistente agli acidi e agli alcali tubo di vetro di alta purezza per sensori di temperatura dei semiconduttori

1. Purezza ultra elevata Misurazione della temperatura a zero contaminazione

• Purezza di SiO2 ≥ 99,99%, gradi superiori fino a 99,999%
• Nessuna devitrificazione, volatilizzazione o dispersione di particelle ad alte temperature
• Non introduce mai contaminazioni metalliche nell'atmosfera del forno
• Una salvaguardia fondamentale per il rendimento dei wafer semiconduttori

2. Resistenza al calore estremo per processi impegnativi

• Temperatura di funzionamento a lungo termine 1100°C ∼ 1200°C, a breve termine fino a 1450°C
• Punto di ammorbidimento circa 1700°C, molto superiore a quello delle normali involucre di vetro e metallo
• Stabilità strutturale a temperature elevate ️ non ammorbidimento o deformazione
• Compatibile con processi di diffusione, ossidazione, ricottura, CVD e altri processi ad alta temperatura

3Risposta termica rapida  Misurazione precisa e stabile

• Parete sottile, elevata densità e buona conduttività termica
• Rapida risposta termica con trasmissione tempestiva del segnale di temperatura
• Bassa porosità, minima deriva del segnale, accuratezza di misurazione stabile durante l'uso a lungo termine
• Fornisce una base affidabile per il controllo della temperatura di processo a circuito chiuso

4- Forte resistenza alla corrosione - Superiore inerzia chimica

• Resistente agli acidi forti (ad eccezione dell'acido fluoridrico), alle alcaline deboli e alla maggior parte delle atmosfere corrosive
• Nessuna reazione con alogeni, cloro, ossigeno o altri gas di processo ad alte temperature
• Resiste efficacemente all'erosione da gas di forno, polveri e materiali fusi
• La durata di vita dei rivestimenti in acciaio inossidabile e in ceramica è di gran lunga superiore

5. Resistente agli urti termici. Non si incrinano sotto rapidi cambiamenti di temperatura

• Coefficiente di espansione termica estremamente basso (5,5×10−7/°C)
• Nessuna crepa o frattura sotto improvvisi cambiamenti di temperatura
• Adatti a processi a serie con cicli di riscaldamento e raffreddamento frequenti

6- Isolamento elettrico elevato

• Eccellente isolamento elettrico ad alta temperatura
• Elimina le interferenze di perdite tra i fili della termocoppia e dai fili al corpo del forno
• Garantisce segnali di misurazione puliti, sicuri e affidabili

7. Specificativi completi Deep Customization

• Strutture: tubo chiuso (una estremità sigillata, standard), tubo aperto, tubo a due fori
• Diametro esterno: φ2 mm φ50 mm (scelto in base alle specifiche della termocoppia)
• Spessore della parete: 0,5 mm 5 mm personalizzabile
• Lunghezza: personalizzabile fino a 3 metri o più
• Trasformazione: estremità sigillate lucidate a fuoco, flange, montaggio di flange, riduzione di diametro, glassa
• Compatibilità: adatta a K, S, R, B e altri tipi di termocoppie