Tubos de vidro de alta pureza de quartzo TC resistentes a ácidos e álcalis para detecção de temperatura de semicondutores

1. Ultra-Alta Pureza – Medição de Temperatura com Contaminação Zero

• Pureza de SiO₂ ≥ 99,99%, graus premium até 99,999%
• Sem devitrificação, volatilização ou liberação de partículas em altas temperaturas
• Nunca introduz contaminação metálica na atmosfera do forno
• Uma salvaguarda chave para o rendimento de wafers de semicondutores – contaminação por impurezas pode descartar um lote inteiro de wafers

2. Resistência Extrema ao Calor para Processos Exigentes

• Temperatura de serviço a longo prazo 1100°C – 1200°C, curto prazo até 1450°C
• Ponto de amolecimento aprox. 1700°C, muito superior ao vidro comum e bainhas metálicas
• Estruturalmente estável em altas temperaturas – sem amolecimento ou deformação
• Compatível com processos de difusão, oxidação, recozimento, CVD e outros processos de alta temperatura

3. Resposta Térmica Rápida – Medição Precisa e Estável

• Parede fina, alta densidade e boa condutividade térmica
• Resposta térmica rápida com transmissão oportuna do sinal de temperatura
• Baixa porosidade, desvio mínimo do sinal, precisão de medição estável em uso a longo prazo
• Fornece uma base confiável para controle de temperatura de processo em malha fechada

4. Forte Resistência à Corrosão – Inércia Química Superior

• Resiste a ácidos fortes (exceto ácido fluorídrico), álcalis fracos e a maioria das atmosferas corrosivas
• Sem reação com halogênios, cloro, oxigênio ou outros gases de processo em altas temperaturas
• Resiste efetivamente à erosão por gases do forno, poeira e materiais fundidos
• Vida útil excede em muito as bainhas de aço inoxidável e cerâmica

5. Resistente ao Choque Térmico – Sem Rachaduras Sob Mudanças Rápidas de Temperatura

• Coeficiente de expansão térmica ultrabaixo (5,5×10⁻⁷/°C)
• Sem rachaduras ou fraturas sob mudanças súbitas de temperatura
• Adequado para processos em lote com ciclos frequentes de aquecimento e resfriamento

6. Alto Isolamento Elétrico – Segurança Elétrica

• Excelente isolamento elétrico em alta temperatura
• Elimina interferência de vazamento entre os fios do termopar e dos fios para o corpo do forno
• Garante sinais de medição limpos, seguros e confiáveis

7. Especificações Completas – Personalização Profunda

• Estruturas: tubo de extremidade fechada (uma extremidade selada, padrão), tubo aberto, tubo de dois furos
• Diâmetro externo: φ2mm – φ50mm (selecionado por especificação do termopar)
• Espessura da parede: 0,5mm – 5mm personalizável
• Comprimento: personalizável até 3 metros ou mais
• Processamento: extremidades seladas polidas à chama, flangeamento, montagem de flange, redução de diâmetro, jateamento
• Compatibilidade: compatível com termopares tipo K, S, R, B e outros