Säure- und alkalibeständige Quarz-TC-Rohr Hochreines Glasrohr für Halbleiter-Temperatursensorik
Produktdetails
| Material: | 99,99 % Quarzglas | SIO2 -Inhalt: | 99,99%-99,999% |
|---|---|---|---|
| Arbeitstemperatur: | 1100-1200°C, bis 1450°C | Außendurchmesser: | φ2mm - φ50mm |
| Wandstärke: | 0,5 mm - 5 mm | Struktur: | Geschlossen, offen, zwei Bohrungen |
| Thermoelementtypen: | K, S, R, B | Anwendung: | Halbleiter-Temperaturmessung |
| Hervorheben |
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Produkt-Beschreibung
1. Ultra-hohe Reinheit Temperaturmessung ohne Kontamination
- SiO2-Reinheit ≥ 99,99%, hochwertige Stoffe bis zu 99,999%
- Keine Entvitrierung, Verdunstung oder Partikelverlust bei hohen Temperaturen
- Nie Metallverschmutzung in die Ofenatmosphäre bringen
- Ein wichtiger Schutz für die Leistung von Halbleiterwafern: Verunreinigung durch Verunreinigungen kann eine gesamte Wafercharge zerstören
2. Extreme Hitzebeständigkeit für anspruchsvolle Prozesse
- Langfristige Betriebstemperatur 1100°C ∼ 1200°C, kurzfristige bis 1450°C
- Erweichtungspunkt ca. 1700°C, weit höher als bei gewöhnlichen Glas- und Metallhülsen
- Strukturell stabil bei hohen Temperaturen keine Erweichung oder Verformung
- Kompatibel mit Diffusion, Oxidation, Glühen, CVD und anderen Hochtemperaturverfahren
3. Schnelle thermische Reaktion ️ Genaue, stabile Messung
- Dünne Wand, hohe Dichte und gute Wärmeleitfähigkeit
- Schnelle thermische Reaktion mit zeitnaher Übertragung des Temperatursignals
- Niedrige Porosität, minimale Signalverschiebung, stabile Messgenauigkeit bei langfristiger Anwendung
- Bietet eine zuverlässige Grundlage für die geschlossene Prozesstemperaturregelung
4- starke Korrosionsbeständigkeit - überlegene chemische Trägheit
- Widerstandsfähig gegen starke Säuren (außer Fluorwasserstoff), schwache Alkalien und die meisten ätzenden Atmosphären
- Keine Reaktion mit Halogenen, Chlor, Sauerstoff oder anderen Prozessgasen bei hohen Temperaturen
- Wirksam gegen Erosion durch Ofengase, Staub und geschmolzenes Material
- Die Lebensdauer von Edelstahl- und Keramikhülsen überschreitet diese bei weitem
5. Wärmeschlagbeständig
- Ultra-niedriger thermischer Expansionskoeffizient (5,5×10−7/°C)
- Kein Rissen oder Bruch bei plötzlichen Temperaturänderungen
- geeignet für Chargenprozesse mit häufigen Heiz- und Kühlzyklen
6. hohe elektrische Dämmung electrical safety
- Ausgezeichnete Hochtemperaturisolation
- Eliminiert Leckage-Interferenzen zwischen Thermoelementdraht und von Draht zum Ofenkörper
- Sicherstellung sauberer, sicherer und zuverlässiger Messsignale
7. Vollständige Spezifikationen ️ Tiefe Anpassung
- Konstruktionen: geschlossene Röhre (ein Ende versiegelt, Standard), offene Röhre, zweiborige Röhre
- Außendurchmesser: φ2 mm φ50 mm (nach Thermoelement-Spezifikation ausgewählt)
- Wandstärke: 0,5 mm 5 mm anpassbar
- Längen: bis zu 3 Meter oder mehr
- Verarbeitung: flammpolierte Versiegelung, Flanzen, Flanzenanbau, Durchmesserreduzierung, Glasur
- Kompatibilität: passt zu K, S, R, B und anderen Thermoelementtypen
Product Highlights
1. Ultra-hohe Reinheit Temperaturmessung ohne Kontamination SiO2-Reinheit ≥ 99,99%, hochwertige Stoffe bis zu 99,999% Keine Entvitrierung, Verdunstung oder Partikelverlust bei hohen Temperaturen Nie Metallverschmutzung in die Ofenatmosphäre bringen Ein wichtiger Schutz für die Leistung von ...
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