Кварцевая ТК-трубка, устойчивая к кислотам и щелочам, стеклянная трубка высокой чистоты для термочувствительных полупроводников

1. Сверхвысокая чистота – измерение температуры без загрязнений

• Чистота SiO₂ ≥ 99,99%, премиальные марки до 99,999%
• Отсутствие девитрификации, испарения или выделения частиц при высоких температурах
• Никогда не вносит металлическое загрязнение в атмосферу печи
• Ключевая гарантия выхода годных полупроводниковых пластин – загрязнение примесями может привести к браку всей партии пластин

2. Экстремальная термостойкость для требовательных процессов

• Длительная рабочая температура 1100°C – 1200°C, кратковременная до 1450°C
• Температура размягчения около 1700°C, значительно выше, чем у обычного стекла и металлических оболочек
• Структурная стабильность при высоких температурах – отсутствие размягчения или деформации
• Совместимость с диффузионными, окислительными, отжиговыми, CVD и другими высокотемпературными процессами

3. Быстрый тепловой отклик – точное, стабильное измерение

• Тонкая стенка, высокая плотность и хорошая теплопроводность
• Быстрый тепловой отклик с своевременной передачей температурного сигнала
• Низкая пористость, минимальный дрейф сигнала, стабильная точность измерения при длительном использовании
• Обеспечивает надежную основу для замкнутого контура контроля температуры процесса

4. Высокая коррозионная стойкость – превосходная химическая инертность

• Устойчивость к сильным кислотам (кроме плавиковой кислоты), слабым щелочам и большинству агрессивных атмосфер
• Отсутствие реакции с галогенами, хлором, кислородом или другими технологическими газами при высоких температурах
• Эффективно противостоит эрозии от печных газов, пыли и расплавленных материалов
• Срок службы значительно превышает срок службы оболочек из нержавеющей стали и керамики

5. Термостойкость к термическому удару – отсутствие растрескивания при резких изменениях температуры

• Сверхнизкий коэффициент теплового расширения (5,5×10⁻⁷/°C)
• Отсутствие растрескивания или разрушения при внезапных изменениях температуры
• Подходит для пакетных процессов с частыми циклами нагрева и охлаждения

6. Высокая электрическая изоляция – электробезопасность

• Отличная высокотемпературная электрическая изоляция
• Исключает помехи от утечек между проводами термопары и от проводов к корпусу печи
• Обеспечивает чистые, безопасные и надежные измерительные сигналы

7. Полные спецификации – глубокая кастомизация

• Конструкции: трубка с закрытым концом (один конец запаян, стандартная), открытая трубка, двухканальная трубка
• Внешний диаметр: φ2мм – φ50мм (выбирается в соответствии со спецификацией термопары)
• Толщина стенки: настраивается от 0,5мм до 5мм
• Длина: настраивается до 3 метров или более
• Обработка: полированные пламенем запаянные концы, фланцевание, фланцевое соединение, уменьшение диаметра, матирование
• Совместимость: подходит для термопар типов K, S, R, B и других